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仪器网产品库 zycgr210713022024年3月政府采购意向

zycgr210713022024年3月政府采购意向

项目名称:	掩膜对准机	品目	A02100503 工艺试验机
公告时间:	20240205	预算金额:	320.000000万元(人民币)
采购单位	zycgr21071302	采购时间	202403

采购需求：

半自动光刻机，分辨率0.8 um，光强均匀性优于±2.5％，拥有LED光源，可自由选择IGH线输出量，适合于学术研究及小批量生产使用

本文来源: https://cp.yiqi.com/ycz/ydetail_20244453ab.html

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