主要技术指标及配置。流量范围：气体0-1000sccm，精度1.5%FS；液体0-10ml/min，精度0.5%；温度范围：10-600℃，控制精度：±0.1℃；压力范围：0～6.0MPa，控制精度：±10kPa；分离能力：实际塔板数≥30；最低检测限：<1.2 pg C/s；重现性：<0.5% RSD。