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工业和信息化部电子第五研究所2024年3至12月政府采购意向
项目名称: 高衬度芯片级三维无损分析系统 品目 A02100405射线式分析仪器
公告时间: 20240327 预算金额: 460.000000万元(人民币)
采购单位 工业和信息化部电子第五研究所 采购时间 202404
采购需求:
•二维空间分辨率≤700nm; •三维空间分辨率≤2μm(样品尺寸不小于1cm×1cm); •3D重构361张1K×1K图像数据的时间少于5分钟; •最大电压不小于160 kV; •对无机材料均能获得高衬度图像

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