1 *探测器：2只硅漂移（SDD）电制冷探测器，支持信号同步采集分析，采用场效应管（FET）一体化集成设计的高速SDD芯片，探测器具有60mm2有效活区面积，超薄窗设计，独立真空，无需液氮冷却；该设备可与扫描电镜配套使用。 2 *能量分辨率：在100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV，轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV； 3 *采用纤细化等技术提高固体角，单个探指直径仅16.0mm，改善系统分析效率 4*元素分析范围: Be4～Cf98； 5谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，48小时内峰位漂移小于1.5eV； 6具备零峰修正功能，可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位。 7*能谱仪处理单元与计算机采用分离式设计，单探测器输出最大计数率优于600,000CPS，可处理最大计数率优于1,500,000CPS。 8一体化集成用户界面，包括EBSD、Micro-xrf等所有应用软件在同一个平台上打开，支持用户自定义模式及账户管理，支持中、英文等多种操作界面； 9谱定性分析：可自动标识谱峰，可设定自动标定的元素范围；可自动扣除背底，并支持用户手动调整；可进行谱重构，对重叠峰进行可视化谱峰剥离； 10*配备完善而精准的原子数据库，包含所有的分析线系(K, L, M 和 N线系) 11定量分析：可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素的修正；可以得到归一化和非归一化定量结果，可以用化学配位法得到非归一化结果。 12可将电镜图象传输到能谱仪的显示器上，并以该图为中心做微区分析，可选择点、矩形、任意不规则区域进行分析。并且可提前设定任意多点或区域，能谱可依次进行自动分析。 13*实验报告:多种输出格式,单键可生成Word文档,及PDF格式,所有结果在一个Word文档中呈现。