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仪器网 产品库 中国科学院光电技术研究所2024年4至9月政府采购意向
中国科学院光电技术研究所2024年4至9月政府采购意向
项目名称: 激光直写设备 品目 A02100503工艺试验机
公告时间: 20240403 预算金额: 582.000000万元(人民币)
采购单位 中国科学院光电技术研究所 采购时间 202408
采购需求：
激光直写光刻设备能够实现投影光刻物理掩模的制备，精度较高，能够避免多套掩模之间的套刻对准环节。特征尺寸：300-600 nm，灰度曝光模式：>265灰度级；光源：300 mW，405 nm

本文来源: https://cp.yiqi.com/ycz/ydetail_20246904bd.html
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