三维表面形貌仪1台： 1. 测量模式：三维形貌测量模式、薄膜测量模式； 2. 可自动获取图案化形貌区域的三维信息，包括三维图，高度、宽度、面积、体积、粗糙度等参数； 3. 全自动扫描范围：600mm×400 mm，一次扫描成像； 4. 自动聚焦范围： 50mm； 5. 扫描速度：40 mm/s； 6. 扫描步长：100 nm ； 7. 配置5套光学测量探头。 透射电子显微镜1台 1. 分辨率：≤0.204 nm； 2. 不更换硬件的前提下，可在同一台仪器上实现物镜的高分辨和高反差模式的一键切换，无需等待；3. 分辨率三档X200-X200,000；X4,000-X600,000；X50-X1,000； 3. 衍射长度：高反差方式 0.2-5.0 m 高分辨方式 0.2-2.0 m； 4. 电子枪钨灯丝，具有电流自动控制，灯丝计时，气压式自动升枪等功能； 5. 像素≧1024×1024，最高帧率不小于90 fps； 6. 样品台轨迹追踪功能，位置记忆功能，回溯功能； 7. 光学系统与机械运动部分放大倍数不小于70×；带有共心式移动；样品可做360°旋转，优中心运动不低于±20°； 8. 亮度可控的LED顶照光亮度不小于8000 lx，亮度可控的LED样品透射光亮度不小于200 lx； 9. 需具有10寸以上彩色触摸屏控制面板。