适用标准:
GB/T 8980-1996《高纯氮》
GB/T 14599-93 《高纯氧》
GB/T 4844.3-1995 《高纯氦》
GB/T 4842-2006《高纯氩》
GB/T 7445-1995 《纯氢、高纯氢、超纯氢》
GB/T 17873-1999《纯氖》
国标中规定的各种气体的纯度指标:
气体种类 | 项目 | 指标 |
优等品 | 一等品 | 合格品 |
高纯氮 | 氮气纯度0-2(V/V) ≥ | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
氧含量,10-6(V/V) ≤ | 1.0 | 2.0 | 3.0 |
氢含量,10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1.0 | 1.0 |
CO、CO2、CH4总含量,10-6(V/V)≤ | 1.0 | 2.0 | 3.0 |
高纯氩 | 氩纯度, 10-2(V/V) ≥ | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 2 | 4 | 5 |
氢含量,10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 1 |
总碳含量(以甲烷计)10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 2 |
高纯氦 | 氦气纯度, 10-2(V/V) ≥ | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
氢含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.5 | 1 |
氧(氩)含量10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 1 |
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 2 |
一氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.2 | 0.5 |
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.2 | 0.2 | 0.5 |
甲烷含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.2 | 0.5 |
高纯氢 | 氢纯度, 10-2(V/V) ≥ | 99.999 |
氧(氩)含量10-6(V/V) ≤ | 1 |
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 5 |
一氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 1 |
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 1 |
甲烷含量,10-6(V/V) ≤ | 1 |
超纯氢 | 氢纯度, 10-2(V/V) ≥ | 99.9999 |
氧(氩)含量10-6(V/V) ≤ | 0.2 |
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 0.4 |
一氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 |
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 |
甲烷含量,10-6(V/V) ≤ | 0.2 |
高纯氧 | 氧纯度, 10-2(V/V) ≥ | 99.999 | 99.998 | 99.995 |
氩含量,10-6(V/V) ≤ | 2 | 5 | 10 |
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 5 | 10 | 20 |
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 1 |
总碳含量(以甲烷计)10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 2 |
GB/T 5829-1995《氪气》
GB/T 5828-1995《氙气》
HG/T 3633-1999《纯甲烷》
GB/T 10621-2006《食品添加剂液体二氧化碳》
GB/T 16942-1997《电子工业用气体 氢》
GB/T 16943-1997《电子工业用气体 氦》
GB/T 16944-1997《电子工业用气体 氮》
GB/T 16945-1997《电子工业用气体 氩》
GB/T 14604-93《电子工业用气体 氧》
GB/T 14600-93《电子工业用气体 氧化氩氮》
GB/T 14601-93《电子工业用气体 高纯氨》
GB/T 14602-93《电子工业用气体 氯化氢》
GB/T 14603-93
GB/T 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯》
GB/T 14851-93《电子工业用气体 磷化氢》
GB/T 17874-1999《电子工业用气体 三氯化硼》
GB/T 15909-1995《电子工业用气体 硅烷》