特种气体

特种气体硅烷(SiH4)Silane纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities ( ≤,ppm )99.9999N2H2O2+ArCOCO2CH4H2OC2H6+C3H8SiH3Cl电阻率1.0020.00.050.050.050.050.500.100.15>1000Ωcm99.999N2HeH2COCO2CH4H2OO2+Ar电阻率551000.500.500.5021>1000Ωcm磷烷(PH3)Phosphine纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities ( ≤,ppm )99.9999N2O2

 

特种气体

 

硅烷（SiH₄）Silane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9999	N2	H2	O2+Ar	CO	CO2	CH4	H2O	C2H6+C3H8	SiH3Cl	电阻率
	1.00	20.0	0.05	0.05	0.05	0.05	0.50	0.10	0.15	>1000Ωcm
99.999	N2	He	H2	CO	CO2	CH4	H2O	O2+Ar	电阻率
	5	5	100	0.50	0.50	0.50	2	1	>1000Ωcm

磷烷（PH₃）Phosphine

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9999	N2	O2	CO	CO2	AsH3	H2O	总烃
	0.3	0.1	0.05	0.1	0.2	0.1	0.1

申烷（AsH₃）Arsine

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9999	Ar	N2	O2	CO	CO2	CH4	H2O	GeH4	C2H6	C3H8	PH3	SiH4
	0.1	0.1	0.1	0.05	0.1	0.1	0.05	0.1	0.1	0.1	0.2	0.1

锗烷（GeH₄）Germane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N2	O2	THC	H2O
	5.0	1.0	1.0	5.0

乙（B₂H₆）Diborane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.995	O2	CO2	H2O	CH4	CH3Cl
	3.0	3.0	3.0	5.0	10.0
99.95	5.0	10.0	5.0	100.0	100.0

氨（NH₃）Ammonia

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	O2+Ar	CO2	H2O	CH4	CO	H2
	100.0	100.0	200.0	50.0	50.0	100.0

一氧化碳（CO）Carbon Monoxide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	N2	H2	O2	CO2	H2O
	150.0	50.0	50.0	50.0	10.0

氧化亚氮（N₂O）Nitrous Oxide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.995	O2+Ar	N2	CO2	CH4	H2O	NO	NO2	NH3
	0.5	2.0	1.0	0.5	1.0	1.0	1.0	1.0

一氧化氮（NO）Nitric Oxide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	N2	N2O	NO2	CO2	THC
	500.0	100.0	50.0	100.0	10.0

二氧化硫（SO₂）Sulfur Dioxide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	残渣	酸度	H2O
	40.0	20.0	40.0

羰基硫（COS）Carbonyl Oxysulfide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.98	残渣	酸度	H2O
	40.0	20.0	40.0

硫化氢（H₂S）Hydrogen Sulfide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	Air	THC	CO2	H2O
	50.0	10.0	30.0	10.0

 

碳氢化合物Hydrocarbon

分子式	名称	纯度（≥）	分子式	名称	纯度（≥）
C2H2	乙炔	99.90%	C4H8	异丁烯	99.5-99.9%
CH4	甲烷	99.9-99.995%	C4H8	顺丁烯	99-99.9%
C2H6	乙烷	99.90%	C4H8	反丁烯	99-99.9%
C3H4	甲基乙炔	99.00%	C5H12	正戊烷	99.50%
C4H6	乙基乙炔	99.00%	C5H12	异戊烷	99.50%
C2H4	乙烯	99.90%	C4H6	1,2-丁二烯	99.50%
C4H10	异丁烷	99.50%	C4H6	1,3-丁二烯	99.90%
C3H8	丙烷	99-99.9%	C5H10	正戊烯	99.50%
C3H6	环丙烷	99.50%	C6H12	己烯	99.50%
C3H6	丙烯	99.90%	C6H12	环己烷	99.50%
C3H4	丙二烯	99.00%	C2H6O	甲醚	99.90%
C4H8	正丁烯	99.90%	C2H4O	环氧乙烷	99.90%

氟化物

氟气（F₂） Fluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,% ）
99.0	O2+N2	CF4	HF
	0.45	0.05	0.50

氟化氢（HF）Hydrogen Fluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	H2O	Cl2	H2SiF6	SO4－－	HPO4－－	Metals
	25.0	5.0	100.0	5.0	12.2	5.0

三氟化氮（NF₃）Nitrogen Trifluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	N2	N2O	O2+Ar	CO	CO2	H2O	CF4	SF6	总F
	50.0	10.0	50.0	10.0	10.0	1.0	700	50.0	0.3

,三氟化磷（PF₃） Phosphorus Trifluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	O2	N2	HF
	20.0	75.0	5.0

（BF₃）Boron Trifluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N2	O2	CO	CO2	SO2	SiF4	MS
	15.0	5.0	2.0	20.0	20.0	20.0	8.0

三氟甲烷（CHF₃）Freon-23

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.995	Air	H2O	CO2	CH4	HF	其它碳氟
	15.0	4.0	2.0	1.0	1.0	10.0

四氟化碳（CF₄）Carbon Trifluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999	N2	O2	CO	H2O	其它碳氟
	2.0	1.0	1.0	1.0	5.0

四氟化硅（SiF₄）Silicon Trifluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N2	O2	CO	CO2	CH4	HF	PF5	BF6
	3.0	1.0	0.5	1.0	10.0	50.0	0.5	1.0

五氟化磷（PF₅）Phoshorus Pentafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N2	H2	O2	H2O	其它
	50.0	5.0	20.0	5.0	30.0

五氟化砷（AsF₅）Arsenic Pentafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	N2	H2	O2	H2O	其它
	50.0	10.0	20.0	3.0	30.0

五氟化溴（BrF₅）Bromine Pentafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N2	O2	H2O	其它
	0.1	0.1	10.0	0.1

五氟化碘（IF₅）Iodine Pentafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N2	O2	H2O	其它
	0.1	0.1	10.0	0.1

六氟乙烷（C₂F₆）Hexafluoroethane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N2	O2	CO	CO2	H2O
	60.0	15.0	2.0	2.0	5.0

六氟化硫（SF₆）Sulfur Hexafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N2	H2	H2O	CF4	其它
	24.0	6.0	5.0	20.0	5.0

六氟化钨（WF₆）Tungsten Hexafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）							杂质含量：Impurities （ ≤,ppb ）
99.98	N2	CO+CO2	CF4	HF	SiF4	SF6	O2+Ar	Fe	Cr	Na	K	U	Th
	10	1.0	1.0	10	0.5	0.5	1	10	10	10	20	0.05	0.1

六氟化钼（MoF₆）Molybdenum Hexafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.7	N2	H2	H2O	其它
	0.1%	0.1%	10ppm	0.1%

八氟丙烷（C₃F₈）Octafiuoropropane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	O2	H2O	酸度	其它
	3.0	3.0	2.0	2.0

八氟环丁烷（C₄F₈）Perfiuorocyciobutane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N2	H2	H2O	其它
	4.0	6.0	5.0	5.0

氯化物

氯气（Cl2）Chlorine

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999	N2	O2	H2	CO	CO2	H2O
	2.0	2.0	0.1	1.0	0.1	2.0

氯化氢（HCl）Hydrogen Chloride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999	N2	O2+Ar	CO2	THC	H2O
	4.0	1.0	3.0	1.0	1.0

三氯化硼（BCl₃）Boron Trichloride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999	N2	O2	CH4	CO	COCl2	HCl	Cl2	Al	Ca	Cu	Fe	Si	Na
	4.0	1.0	0.5	0.5	0.5	1.0	0.3	0.1	0.02	0.01	0.3	1.0	0.1

二氯二氢硅（SiH₂Cl₂）Dichlorosilane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999	H2O	THC	其它氯硅烷
	1.0	1.0	0.1%

四氯化硅（SiCl₄）Silicon Tetrachloride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	HCl,	SiHCl3		SiH2Cl2		SiH3Cl		Si-OH		Si-OH（THC）		ppm
	35.0	5.0		2.0		2.0		5.0		5.0
	Al	Co	Cr	Cu	Fe	Mn	Mo	Ni	Ti	V	Zn	ppb
	10.0	1.0	1.0	1.0	10.0	1.0	7.0	2.0	1.0	2.0	3.0

溴化物

溴化氢（HBr）Hydrogen Bromide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999	H2O	CO2	Air	HCl
	50.0	20.0	0.4	1500