0.1-0.2 um 捕集效率99.9995%以上效率高 High efficiency 阻力低 Low resistance 重量轻 Light weight 厚度薄 Thin in depth 安装方便 Easy installation 运行成本低 Low operation cost
用途 uses
超LSI制造工场、半导体制造工场、原子力研究ZX、无尘室、层流设备、工作台等其它要求超高洁净度的场合。
Manufacturing lines for ULSI, manufacturing plants for semiconductors of 16M and above、cleanrooms、clean bench、clean booth, ect..
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