质量流量计

流量比例控制器
使用DELTA™流量比例控制器（FRC）能更容易获得的工艺性能。FRC广泛用于不同的流量分离设备，如刻蚀、去胶和PECVD工艺设备中，FRC使用户能够将气体或混合气体分送至同一反应室中的两个不同区域。根据气体（或任何混合气体）及其设定比率，FRC会自动将气体分送到两个不同的出口。
在任何新的和已有的工艺设备中使用FRC都很简单。拥有大量程范围的流量（500/500sccm到10,000/10,000sccm）可供选择，FRC均可以满足您的要求。凭借拥有版权的计算器，我们应用工程师们将为您的应用选择正确的部件。MKS会传送给您有关机械和电学细节的电子文档，帮助您开始进行部件的整合。由于FRC在工作中保持一个低于大气压的管道压力，因而通常不需要特殊的防漏措施。