规格参数:
![](http://item.yiqi.com/pic/ConPic/2/diener_31.gif)
主机外形尺寸:
* W 562mm× H 211 mm× D 420 mm
等离子喷头尺寸:
* Max. 直径 32 mm, L 270 mm
* 电缆长度3 m,
* 可处理宽度: max. 12 mm
射频发生器:
* 20 kHz / 300 W
外部连接:
* 冷却处理气体
* 压缩空气
* 交流电220 V/6 A
操作方式
* 手动方式:
通过主机前面板的“等离子开”和“等离子关”两个按钮控制。
* 半自动方式:
在主机背面板,通过连接25针的SUB-D进行远程控制
系统由三大主要部分组成:
1. 主机
- 连接电源
- 连接冷却的处理气体
- 高射频电压
- 等离子源控制模块
- 气体控制模块
- 前面板的操作控制系统
2. 传输气体和能量的柔性导管
3. 等离子喷头:由中间电极、外部电极和绝缘区域组成。
- 高压射频发生器将常电压转变成高电压(超过10KV),这对于形成高压放电是必须的。
- 高电压和冷却的处理气体是通过柔性导管传输到放电区域的。
- 气流中的活性元素(i+, e-, r *)会在放电区域内产生电弧。