1、工作台:
坐标测量行程(mm):X坐标:150 Y坐标:75
圆工作台直径(mm):Φ190(玻璃) Φ280(金属)
圆工作台角度分划范围:0°~360°
圆工作台测角分辨率:3′
X、Y坐标测量分辨率:0.001mm
2、仪器准确度:
(2+L/50)um,式中L为被测长度,单位:mm
3、物镜:
物镜放大率 | 总放大率 | 工作距离 | 视场直径 |
1× | 10× | 82mm | 20mm |
3× | 30× | 70mm | 6.7mm |
5× | 50× | 49mm | 4mm |
4、显微镜立柱:
倾斜范围:±12°
倾斜角度分划值:30′
5、测角目镜:
角度分划范围:0°~360°
角度分划值:1′
6、轮廓目镜:
轮廓目镜分划范围:±7°
轮廓目镜角度分度值:10'
7、光学定位器
光学定位器Z小探测孔径:Φ5mm
光学定位器Z大探测深度:15mm
8、测量力:0.1N
9、顶针架
夹持Z大直径:Φ70mm
夹持Z大长度:190mm
11、仪器承受工件Z大重量:20kg
12、仪器主机外形尺寸(mm):720×460×600
13、仪器重量:100kg