产品描述:供应安徽地区硅烷SIH4传感器便携式泵吸式变送器集成
硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。
一、硅烷气体检测仪传感器选型
型号 |
量程/ppm |
输出信号nA/ppm |
分辨率/ppm |
Z大过载/ppm |
反应时间/T90 |
使用寿命 |
SiH4/M-50 |
0-50 |
500 ± 60 |
0.3 |
ND |
< 60s |
空气中2年 |
SiH4/C-20 |
0-20 |
2100 ± 600 |
0.1 |
ND |
< 60s |
空气中2年 |
SiH4/C-50 |
0-50 |
1000 ± 300 |
0.2 |
ND |
< 60s |
空气中2年 |
二、硅烷(SIH4)传感器技术参数:
产品名称:高精度硅烷 传感器 SIH4/C-50 产品主要参数: 测量范围:0~50ppm Z大负载:ND 工作寿命:空气中2年 输出信号:1000±300nA/ppm 分辨率:0.2 ppm 温度范围:-40°C to 45°C 压力范围:标准大气压± 10% 响应时间(T90):﹤60sec 相对湿度范围:15%to90% 典型基线范围(纯净的空气, 20 ℃ ):0 to -1ppm Z大零点漂移(20°C to 40°C):ND 长期输出漂移:﹤2% signal loss/months 推荐加载电阻:10 Ω 偏置电压:不需要
产品名称:高精度硅烷 传感器 SIH4/M-50 产品主要参数: 测量范围:0~50ppm Z大负载:ND 工作寿命:空气中2年 输出信号:500±60nA/ppm 分辨率:0.3 ppm 温度范围:-40°C to 50°C 压力范围:标准大气压± 10% 响应时间(T90):﹤60sec 相对湿度范围:15%to90% 典型基线范围(纯净的空气, 20 ℃ ):0 to -1ppm Z大零点漂移(20°C to 40°C):ND 长期输出漂移:﹤2% signal loss/months 推荐加载电阻:10 Ω 偏置电压:不需要
产品名称:高精度硅烷 传感器 SIH4/S-50 供应安徽地区硅烷SIH4传感器便携式泵吸式变送器集成 产品主要参数: 测量范围:0~50ppm Z大负载:ND 工作寿命:空气中2年 输出信号:1000±300nA/ppm 分辨率:0.2 ppm 温度范围:-40°C to 45°C 压力范围:标准大气压± 10% 响应时间(T90):﹤60sec 相对湿度范围:15%to90% 典型基线范围(纯净的空气, 20 ℃ ):0 to -1ppm Z大零点漂移(20°C to 40°C):ND 长期输出漂移:﹤2% signal loss/months 推荐加载电阻:10 Ω 偏置电压:不需要
三.硅烷(SIH4)传感器结构
![](http://item.yiqi.com/pic/ConPic/1/content10-11-23-81-6719.png)
四.智能模块开发方案
模块特色: 供应安徽地区硅烷SIH4传感器便携式泵吸式变送器集成
1. 选用先进的进口电化学传感器,使用寿命长;
2. 选用高精度的运放和电源IC,性能稳定,灵敏可靠;
3、可以精确检测低浓度或高浓度的有毒气体;
4、产品设计抗干扰能力强、超量程保护、反极性保护和防雷保护;
5、产品设计低功耗,网络RS485输出;
6、模块传感器的安装方式:泵吸式、扩散式、法兰式、法兰螺纹式;
主要参数指标:
检测原理:电化学原理
安装方式:扩散式、泵吸式、法兰式、螺纹式
响应时间:30 S~40 S(传感器的响应速度)
检测精度:≤±3%FS(实际浓度,更高精度视具体传感器而定)
重 复 性:≤±2%
性线误差:≤±2%
零点漂移:≤±2%(F.S/年)
工作温度:-40~50℃
工作湿度:15-90%RH (无结露)
信号输出:数字TTL信号输出 、RS485输出、4-20mA输出
工作电压:DC 12-36 V
五.硅烷(SIH4)传感器应用
硅烷(SIH4)传感器广泛应用于微电子、光电子工业, 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层, 并且是迄今世界上的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。 现在电子气体的使用越来越多,半导体的生产、LED的生产、晶体加工、精密加工等行业带来很多麻烦,这些毒气的检测都离不开SIH4.
|
深圳市富安达提供各种气体传感器(电化学式):氧气传感器,氨气传感器,氨气传感器模块,氯气传感器,氢气传感器,一氧化碳传感器,二氧化碳传感器,一氧化氮传感器,二氧化氮传感器,硫化氢传感器,二氧化硫传感器,甲醛传感器,臭氧传感器,氯化氢传感器,红外传感器,VOC检测传感器,红外气体探测器,SF6传感器 |