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反复性、准确性、重现性
框架一体型
自动镜头调整钮
Capacity Sensor
自动滤镜
缝纫功能
自动对焦功能
安装3个变焦距镜头
产品概要
三维表面轮廓仪利用光的干扰，可迅速，准确，并高检测性的对1nm~10mm高度的模型的表面想象进行纳米单位测量。相比接触性方式，不会对测量物造成任何损伤，相比共焦方式，高解像力无关倍率均可得到统一结果，与AFM相比，可在宽测量领域内快速测量。
高度解像力0.1nm
任何倍率下，解像力均统一
测量纳米等级
测量高速，高精密度，高解像力表现形象
可测量透明/半透明/不透明登各种样品
无需非破坏，预加工程序即可轻松测量
反复性，准确性，重现性
应用领域
主要特征
测量高度，长度，段差，线，圆，弧，角度，款，宽，距离
面粗糙度，线粗糙度，波形
测量划痕，磨损，缺陷
测量面积，大小
测试原理
利用光的干涉信号，将表面的形状到1nm~10cm为止，没有材料的破损，从相机中显示的全部领域，正确，检测到高强度为单位。
干涉信号是在任意义的基准点中，同时出现的光在移动到不同的场景（optical path），在移动后合上的时候，用两个场景（optical path）的物理现象，是一种明亮的明亮的形态，这是干涉信号。
精密的Piezo扫描
高度以Piezo扫描通过Capacity Sensor进行Closed Loop
整体扫描范围的0.1%呈线性
通过1次校准，2次校准，提高数据可靠性
Scan范围
Scan范围：100um，150um, 300um, 500um, 10mm
变焦镜头
变焦镜头: 0.33x，0.55x， 0.75x， 1.0x，1.5x， 2.0x
物镜
2.5x，5x, 10x， 20x， 50x， 100x
干涉镜头
干涉镜头(Michelson型) : 0.3x, 2.5x，5x
干涉镜头(Mirau型): 10x， 20x， 50x， 100x
Multi滤光镜
多种滤光镜选择
调整干涉镜头
随温度变化的干涉纹样调整
操作台
真空操作台，选择操作台，Aligner操作台
