基本特征参数
基片尺寸与类型 50 – 200 mm/单片
150mm多片/小批量
156 mm x 156 mm太阳能电池片
3D复杂表面衬底
粉末与颗粒
多孔材料及高深宽比材料
工艺温度 50 – 500 °C，可定制达650 °C高温模块
基片传送选件 气动升降（手动装载）
预真空室（Load lock）
半自动的机械装载
集群系统的批量装载（Cassette-to-cassette）
前驱体 液态，固态，气态，臭氧，等离子体
6根独立源管线，加载12个前驱体源
规格
重量 350 + 200 kg
尺寸 (W x H x D) 取决于配件
Z小 146 cm x 146 cm x 84 cm
189 cm x 206 cm x 111 cm
配套设施
电源 400 V，三相，含零线 ； 200-210V，三 相，50/60 Hz
保险丝3 x 16 A
功率大小根据选件而定
真空系统 推荐抽速：100 – 420 m3/h
颗粒捕集器和反应残留物燃烧室
载气 99.999 % N2 / Ar,≥ 2 slm
压缩空气 4 – 5.5 bar
冷却水 只用于干式真空泵、离子体发生器、QCM,反应器无需冷却水
排气系统 真空泵，气源柜
选件
PICOFLOW™ 扩散增强器，QCM，RGA，超高真空兼容，N2发生器，尾气处理器，客户定制，手套箱集成。
沪公网安备 31011502008050号
