测量型金相显微镜是一种兼顾影像与目视的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主,也可作三维辅助测量,广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面等工业领域
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产品用途
测量型金相显微镜是一种兼顾影像与目视的高精度、GX率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主,也可作三维辅助测量,广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面等工业领域。
产品特点
● X、Y、Z轴0.5μm分辨率;
● 高精度非接触式光测高度量测模块;
● Z轴粗调/微调旋钮;
● 同轴表面光/底光测量;
● 内建偏光量测光学模块;
● 可量测透明材质纳米级高度差
技术参数
规格型号 | MTM-1510M | MTM-2010M |
工作行程X、Y、Z轴 | 150*100*120(mm) | 200*100*120(mm) |
光学尺分辨率 | 0.5μm |
示值误差 | X、Y坐标≤(3+L/75)μm (L为测量长度,单位mm) |
影像系统 | 彩色1/2"CCD摄像机;640*480像素;结合测量软件 |
显微镜系统 | 目镜:10倍 |
滤光片:红,蓝,绿,白 |
测量模式:反射,透射,偏光 |
5孔物镜转换器 |
照明系统 | 透射照明光源:白光LED,亮度可调 |
同轴照明光源:卤素灯,亮度可调 |
物镜 |
倍率 | 5X | 10X | 20X | 30X |
工作距离(mm) | 20.0 | 18.3 | 8.8 | 2.0 |
高度量测模块(选配件) | 光干涉高度量测模块(M10-CA),高度量测分辨力0.5μm(选配) |
倍率:10X,工作距离5mm,光学分辨力2μm |
其它参数 |
外形尺寸(mm) | 590*560*850 |
仪器重量(kg) | 100 | 110 |
电源功耗 | 110V—220V 50/60Hz <60W |