拟采购X射线光电子能谱一套，探测样品表面的元素成分及其化学态信息，可应用于分析无机物、有机物、能源电池材料、半导体器件、催化材料等，表征表面成分、表面缺陷和表面多层薄膜等；具有常规XPS分析、微区XPS分析、深度剖析XPS分析、XPS快速化学状态成像和UPS，ISS等功能；根据项目需要，本次采购的XPS应该具备常规的Al单色化X射线源和高能的单色X射线源，常规测试的能量分辨率和灵敏度应优于0.6eV@2.2Mcps，绝缘体分析能力应优于0.68eV@20kcps。