本项目需要实现痕量元素分析测试能力，如：碱金属与碱土金属（Li、Na、K、Ca、Mg、Ba等）；过渡金属与重金属（Fe、Cr、Ni、Cu、Au、Mn、Pb等）；渗透元素（B、Al、P、As、S、Si等）；卤素物质（含F、Cl、Br、I）等，元素杂质已成为很多材料（尤其是芯片材料）关键的质量指标之一，必须进行严格管控，通过三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪管控金属元素和部分非金属元素，IC离子色谱仪管控卤素元素。该设备采购用于满足校内外杂质元素的测试需求。