超净间改造工程项目除了洁净要求外，还包括去离子水，冷却水，电（部分设备三相，布置于附属设备区）、气，排风、排污、环保处理，消防，逃生门与逃生指引，设备进出口，监控系统，固定电话，网络接入等功能。具体要求包括：1. 洁净区域分为百级、千级、万级三个级别，各区域面积根据具体需求设定，并预留一定的空间，用于新进入设备；各功能区原则上不再进一步间隔为多个小房间，但可以考虑适当以低矮屏风间隔出功能区；部分万级区域可预留升级到千级的条件；2. 洁净所需空调系统布置于洁净间外的附属设备区；3. 去离子水站布置于洁净间之外的附属设备区，以管道送到需要的设备,这里需要确保到达设备的去离子水的品质满足要求；4. 冷却水可考虑集中供应，但部分设备自带冷却水机，如果这些冷水机的噪声较小，并且对水的密封较好，可放置于室内；若不满足要求，就尽量放在洁净间外。5. 各设备所需电布置到设备附近，并在每个设备附近预留一定的插座，具体插座数量可根据设备情况再行决定；6. 设备所需的气体气瓶放置于附属设备区，以管道送到设备附近，危险气体与特气的气瓶按照国家要求储存与管理，实验室不涉及氯气等高危气体，但有稀释后的硅烷；原则上不将气瓶放置于超净间；原则上所有气体管路在洁净间内外各布置一个气阀与压力表，硅烷等危险气体按规范设置泄漏检测报警系统。7. 排风、排污、环保等按照国家要求处理，大量的废酸等化学废液由实验室收集后交学校回收处理；8. 消防按照国家要求规范进行设计与施工；9. 逃生门与逃生指引按照国家规范进行设计与施工；10. 设备进出口应便于打开，平时常闭，且不影响各区域洁净度，在设备进口设置缓冲清洁区；11. 监控应覆盖实验室所有区域；12. 鉴于超净间手机信号屏蔽较好，因此千级与万级超净间分别布置一台固定电话；13. 千级与万级超净间需要布置无线Wi-Fi信号接入；14. 设备布置时尽量考虑工艺流程与人流，并尽可能做到各工艺环节不相互影响操作；15. 温、湿度条件参数在设置于超净环境外部（办公室）的液晶屏显示。3年质量保修；工期要求:120日历天。