本次购买的电子束镀膜设备（1台）是微纳加工中的重要设备，主要用于纳米和微纳电子器件加工，用于高质量、厚度精确控制的金属和氧化物薄膜的生长。需配备1套6坩埚电子束蒸发源，坩埚容量不小于7cc,配有不小于6kW供电电源，最高电压不低于10kV，电流不低于600mA，在清洁干燥的系统中极限真空度优于9*10-8Torr。