浙江大学2024年3至4月政府采购意向-仪器网
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仪器网 产品库 浙江大学2024年3至4月政府采购意向
浙江大学2024年3至4月政府采购意向
项目名称: 磁控溅射镀膜设备 品目 A02330300 电子工业生产设备
公告时间: 20240119 预算金额: 180.560000万元(人民币)
采购单位 浙江大学 采购时间 202404
采购需求：
本次购买的磁控溅射镀膜设备（1台），该设备用于直接磁控溅射的方式在基片上外延生长金属薄膜，系统需配有3套3英寸磁控溅射靶枪，靶枪可灵活调节，采用NdFeB磁阵组合，在清洁干燥的系统中极限真空度优于9*10-8Torr。

本文来源: https://cp.yiqi.com/ycz/ydetail_20242757ca.html
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