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仪器网 产品库 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至8月政府采购意向
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至8月政府采购意向
项目名称: 多功能原子层刻蚀系统 品目 A02330300电子工业生产设备
公告时间: 20240403 预算金额: 850.000000万元(人民币)
采购单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购时间 202406
采购需求：
多功能原子层刻蚀系统主要用于8inch样品表面GaN等材料的低损伤及原子层精度刻蚀工艺，设备需同时配套刻蚀金属电极材料，专用于GaN器件研发，可以很好解决交叉污染问题，器件性能更加优异。 采购标的数量：1台。 以实际公告为准。

本文来源: https://cp.yiqi.com/ycz/ydetail_20246868ca.html
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