本系统包含一套高温 MBE 生长腔和存样腔两个功能模块；各腔室可通过UFO（圆形样品传样腔）进行连接，实现自动化传样，其布局以UFO腔体为中心，其余功能腔体沿其圆周径向分布，具体包含高温生长腔、存储腔、UFO（圆形样品传样腔）、3个K-cell（中温、高温）源以及一个AI源，本高温生长腔适配2寸样品托，配套软件系统，MBE 生长控制程序可二次编程控制蒸发源挡板开关、源炉升降温、样品台挡板开关、样品台升降温；仪器主体还包括真空泵组、实时监测分析装置RHEED、QCM、RGA等， 真空抽气系统由机械泵、涡轮分子泵、离子泵等；以此实现原位条件下MBE生长动力学研究。