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仪器网 产品库 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至8月政府采购意向
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至8月政府采购意向
项目名称: 高精度快速图形化系统 品目 A02330300电子工业生产设备
公告时间: 20240403 预算金额: 2000.000000万元(人民币)
采购单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购时间 202406
采购需求：
8寸及以下尺寸晶圆纳米尺寸图形曝光；加速电压≥50kV；分辨率≤30nm；束流达到nA量级。以实际公告为准。

本文来源: https://cp.yiqi.com/ycz/ydetail_20246911ce.html
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