应用范围:光电轮廓仪的应用范围很广,它主要用于测量各种精密加工零件表面的微观三维结构,如表面粗糙度;零件表面的刻线;刻槽的深度和镀层的厚度等。具体地说,如量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘的刻线深度;光栅的槽形结构;镀层厚度和镀层边界处的结构形貌;磁(光)盘、磁头表面结构测量;硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。由于仪器测量精度高,重复性好,具有非接触和三维测量等特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用于各级测试、计量研究单位,工矿企业计量室,精密加工车间和高等院校及科学研究单位等。【产品详情】仪器由倒置式改为正置式,更符合人们的操作习惯;应用CMOS代替CCD,省去图象卡并提高了质量;用低压电源代替高压电源,节省了仪器成本;用国产的代替德国进口压电陶瓷,解决了关键部件的进口难题;增加了自动步距和亮度校正程序,同时增加了局部放大三维立体图功能;表面微观不平深度测量范围:130?1nm测量的重复性:sRa≤0.5nm测量精度:8nm物镜倍率:40X数值孔径:0.65仪器视场 目视:f0.25mm摄象:0.13X0.13mm仪器放大倍数 目视:500X摄象(计算机屏幕观察):2500X 接收器测量列阵:1000X1000 象素尺寸:5.2X5.2nm
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n1.设备的主要功能可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数, 角度处理(坐标角度,与Z坐标的夹角,两直线夹角)、圆处理(圆弧半径,圆心到圆心距离,圆心到直线距离,交点到圆心的距离,直线到切点的距离)、点线处 理(两直线交点,交点到直线距离,交点与交点距离,交点到圆心的距离)、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、轮廓度、倾斜度、垂直距 离、水平距离等形状参数。2.设备的主要技术参数X轴导轨移动直线度:≤0.4μm/60mm示值误差1(L=X轴导轨移动距离):±(1.8+2L/100)μm示值误差2(H=Z轴方向测量高度):±(2+15H/100)μm可测范围:X轴方向100mm;Z轴方向(工件高度)300mm传感器量程:8mm分辨率/量程:1/4096光栅尺:精度±3μm/100mm分辨率1μm数据采样:精密直光栅触发采样1μm/点综合调整台调整范围:Y轴方向10mm,X轴水平可调±40度,Z轴回轴可调360度工作压力:0.35~0.43Mpa气源压力:0.45~0.80Mpa气源流量:≥0.2m³/min电源:AC220V±10%50Hz环境要求:温度:10~30℃;相对湿度:<85%主机重量:约200Kg主机尺寸:900mm×490mm×1400mm3.仪器测量原理由 高精密气浮直线运动导轨,建立X坐标的高精密测量基准,Z坐标由电感传感器构成,可以测量各种精密机械零件的素线形状.本仪器由于基准直线运动采用精密气 浮导轨,故移动精度高、稳定性好、寿命长,而且运动灵活性好、直线性好、操作方便.运动距离采用进口光栅尺计量,X轴的尺寸坐标精确,数据采集及数据处理 均采用计算机,故测试精度高、功能多,又可方便打印和存档,为用户带来很大的方便。4.设备主要配置气浮导轨系统电动式花岗岩大理石方立柱系统传感器移动装置系统传感器系统(带测杆)光栅尺系统(带光栅板)电器控制盒系统(带电器控制板)综合调整台系统精密V形铁系统仪器主机架花岗岩大理石工作台防震支脚四只空气过滤器一、二级系统油水分离器系统工控计算机系统标准圆球一个(带检定证书)软件刻录光盘彩色喷墨打印机电源插座一只工具箱一只(带大小螺丝刀四只,内六角一套,活动板手一把,尖嘴钳一把)电脑台一张测头:硬质合金锥测头二个(R0.05mm);硬质合金斜测头二个(R0.01mm陶瓷球ф2mm测头一个5.设备电器配置1×联想商用机1×DELL17″液晶1×联想专用电源1×CPUE3500(双核2.7G)1×内存2G1×硬盘500G1×DVD光驱(联想配置)1×中文键盘(联想配置)1×光点鼠标(联想配置)1×HP2010彩喷打印机1×MS-Windows的中文版软件包1×WINDOWSXP系统MMD测量软件(带系统一踺还原功能)
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n用途该仪器适用于生产现场,可测量多种机加工零件的表面粗糙度,根据选定的测量条件计算机相应的参数,在液晶显示器上清晰地显示全部测量结果及图形,并可在打印机上输出,亦可与PC机进行通讯。特点• 高精度电感传感器。• 可测量显示13个粗糙度参数。• 采用DSP(数字信号处理器)进行数据处理和控制,速度快,功耗低。• 机电一体化设计,体积小,重量轻,使用方便。• 高品质锂离子充电电池,容量高,无记忆效应,连续工作时间大于20小时。• 连接时代TA系列打印机,可以打印测量参数及轮廓。•标准RS232接口,可与PC机通讯。• 可选配曲面传感器测量曲面,小孔传感器测量内孔孔壁,沟槽/深槽传感器测量沟槽底部或台阶的粗糙度。• 菜单操作方式。•具有图形显示功能。•传感器触针位置指示。•带存储功能的自动关机。•多语言工作方式选择。技术参数测量参数Ra、Rz、Ry、Rq、Rt、Rp、Rv、Rmax、R3z、RSk、RS、RSm、Rmr测量范围Ra:0.025-12.5μm显示范围Ra、Rq:0.005-16μm,Rz、Ry、Rt、Rp、Rv、Rmax、R3z:0.02-160μmRS、RSm:1mm,Rmr:0-(%Rt),Rsk:0-量程范围±20μm、±40μm、±80μm显示分辨率0.001μm滤波方式RC、PC-RC、GAUSS、D-P取样长度0.25mm、0.8mm、2.5mm、自动评定长度1L-5L(可选),L为取样长度测量行程长度3L-7L(可选)驱动行程长度17.5mm/0.71inchZ小驱动行程长度1.3mm/0.052inch示值误差≤±10%示值变动性≤6%针尖角度90°显示方式128×64点阵液晶(带背光)工作环境温度:0ºC- 40ºC,相对湿度:<90%重量440g外型尺寸140×52×48mm
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n粗糙度测量评定参数Ra. Ry. Rz. S. Sm. tp仪器型号Cx-1(S)测量范围Ra 0.01μm-10μm触针位移±500μm分 辨 率0.001μm示值误差≤3%±5nm轮廓测量仪器型号Cx-1(S)使用范围x0-100mm, z 0-300mm测量范围x0-100mm, z =±3mm分 辨 率0.001mm,0.1mm半径误差1%-0.2%外形尺寸170×52×132(mm)含电脑桌净重约80Kg
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nRC120H-S轮廓仪测量范围X向量程:120mmZ向量程:40mm产品简介RC系列轮廓仪所配的RC测量软件,拥有极强的修正功能和先进的算法,所配备的测量基准为高刚性高精度直线运动导轨;Z轴采用高精度数字式线性传感器,保证Z轴拥有极高的测量精度及良好的大量程线性指标。测量项目各种类型工件表面的线要素、点要素,点与点的距离、线与线的距离,各要素的位置度包括:距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径,可进行直线度分析,凸度分析、轮廓度分析。应用行业机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业,适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室、车间产品配置表型号RC120H-S轮廓仪{推荐型}驱动器行程120mm导轨精度0.3μm/100mm光栅分辨率0.5μmX轴精度(2.4+0.05L/10000)μm测量速度0.1mm/s、0.2mm/s0.5mm/s、0.8mm/s自定义测量速度●Z1传感器传感器类型光栅传感器10mm量程-12mm量程-24mm量程-40mm量程●50mm量程○分辨率0.05μmZ1精度(1.8+0.05%H)μm测力0.7mNZ2立柱行程400mm电动驱动●手动驱动-钢制立柱体-大理石立柱体●机台结构一体式●分体式-自动化配置测针自动抬起●测针自动抬起●Z1自动接触●附件电脑●电脑桌-Ф8标准球●Ф12标准球●Ф18标准球●量块组●调整旋转工作台●精密正弦平口钳●精密V型块●17度斜测针●锥形测针●斧形测针●直式测杆●偏心式测杆●小孔测量杆●备注:●代表标配○代表选配-代表不可选
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