性能参数:抽气速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz)2500/3000 l/min150/180 m3/h88/106 CFM极限压力(Ultimate Pressure)
性能参数:
n
n
n
n
n$n抽气速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz)
n
n2150/2600 l/min
n
n$n130/156 m3/h
n
n$n77/92 CFM
n
n$n极限压力(Ultimate Pressure)
n$n≤7.5x10-3 Torr
n
n$n≤1.0x10-2 mbar
n
n$n≤1.0 Pa
n
n$n水冷密封马达(Canned Motor)
n$n频率 Frequency
n$n50/60 Hz
n
n$n电压Voltage
n$n220~440 V
n
n$n额定功率Rated Power
n$n6/4.47 HP/Kw
n
n$n连接口(Connection)
n$n进气口 Inlet
n$nNW50
n
n$n排气口 Outlet
n$nNW40
n
n$n水 Cooling Water
n$n压力 Pressure
n$n2.0~4.0 kg/cm2
n
n$n流量 Min. Flow
n$n3L/min 15℃
n
n$n温度 Temp.
n$n7L/min 30℃
n
n$n接头 Connection
n$nRC3/8"
n
n$n氮气 N2
n$n压力 Pressure
n$n0.15~0.2 Mpa
n
n$n稀释流量 Dilute Flow
n$n0~60 L/min
n
n$n密封流量 Sealing Flow
n$n0~20 L/min
n
n$n接头 Connection
n$nSwagelok 1/4"
n
n$n尺寸 Dimension
n$n长x宽x高
n$n895x410x678 mm
n
n$n重量 Weight
n$n300 Kg
n
n$n噪音 Noise
n$n<70 dB(A)
n
n$n控制介面 Control
n$nSEMI E73-0299
n
n$n系统漏率 System Max. Leak-rate
n$n1.0/10-5 mbar.l/s
n
n$n室温操作范围 Operation Temp.
n$n5℃~40℃
n
n$n操作湿度 Operation Moisture
n$n90%以下
n
n$n
n
n$n性能曲线图:
n$n
n
n
n安装尺寸图:
$n
$n性能参数:
n
n
n
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n$n抽气速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz)
n
n25000/30000 l/min
n
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n
n$n极限压力(Ultimate Pressure)
n$n≤7.5x10-4 Torr
n
n$n≤1.0x10-3 mbar
n
n$n≤1.0 Pa
n
n$n水冷密封马达(Canned Motor)
n$n频率 Frequency
n$n50/60 Hz
n
n$n电压Voltage
n$n220~440 V
n
n$n额定功率Rated Power
n$n6+6/4.47+4.47 HP/Kw
n
n$n连接口(Connection)
n$n进气口 Inlet
n$nISO160(bolted)
n
n$n排气口 Outlet
n$nNW40
n
n$n水 Cooling Water
n$n压力 Pressure
n$n2.0~4.0 kg/cm2
n
n$n流量 Min. Flow
n$n3L/min 15℃
n
n$n温度 Temp.
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n
n$n接头 Connection
n$nRC3/8"
n
n$n氮气 N2
n$n压力 Pressure
n$n0.15~0.2 Mpa
n
n$n稀释流量 Dilute Flow
n$n0~60 L/min
n
n$n密封流量 Sealing Flow
n$n0~20 L/min
n
n$n接头 Connection
n$nSwagelok 1/4"
n
n$n尺寸 Dimension
n$n长x宽x高
n$n920x430x1030 mm
n
n$n重量 Weight
n$n545 Kg
n
n$n噪音 Noise
n$n<70 dB(A)
n
n$n控制介面 Control
n$nSEMI E73-0299
n
n$n系统漏率 System Max. Leak-rate
n$n1.0/10-5 mbar.l/s
n
n$n室温操作范围 Operation Temp.
n$n5℃~40℃
n
n$n操作湿度 Operation Moisture
n$n90%以下
n
n$n
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n$n性能曲线图:
n$n
n
n
n安装尺寸图:
$n
$n性能参数:
n
n
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n$n抽气速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz)
n
n2500/3000 l/min
n
n$n150/180 m3/h
n
n$n88/106 CFM
n
n$n极限压力(Ultimate Pressure)
n$n≤7.5x10-3 Torr
n
n$n≤1.0x10-2 mbar
n
n$n≤1.0 Pa
n
n$n水冷密封马达(Canned Motor)
n$n频率 Frequency
n$n50/60 Hz
n
n$n电压Voltage
n$n220~440 V
n
n$n额定功率Rated Power
n$n6/4.47 HP/Kw
n
n$n连接口(Connection)
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n$nNW50
n
n$n排气口 Outlet
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n
n$n水 Cooling Water
n$n压力 Pressure
n$n2.0~4.0 kg/cm2
n
n$n流量 Min. Flow
n$n3L/min 15℃
n
n$n温度 Temp.
n$n7L/min 30℃
n
n$n接头 Connection
n$nRC3/8"
n
n$n氮气 N2
n$n压力 Pressure
n$n0.15~0.2 Mpa
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n$n稀释流量 Dilute Flow
n$n0~60 L/min
n
n$n密封流量 Sealing Flow
n$n0~20 L/min
n
n$n接头 Connection
n$nSwagelok 1/4"
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n$n尺寸 Dimension
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n$n重量 Weight
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n$n噪音 Noise
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n
n$n控制介面 Control
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n
n$n系统漏率 System Max. Leak-rate
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n$n室温操作范围 Operation Temp.
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n
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n
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n$n性能曲线图:
n$n
n
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n安装尺寸图:
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n性能参数:
n
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n$n抽气速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz)
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n$n极限压力(Ultimate Pressure)
n$n≤7.5x10-4 Torr
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n$n≤1.0x10-3 mbar
n
n$n≤1.0 Pa
n
n$n水冷密封马达(Canned Motor)
n$n频率 Frequency
n$n50/60 Hz
n
n$n电压Voltage
n$n220~440 V
n
n$n额定功率Rated Power
n$n6+6/4.47+4.47 HP/Kw
n
n$n连接口(Connection)
n$n进气口 Inlet
n$nISO160(bolted)
n
n$n排气口 Outlet
n$nNW40
n
n$n水 Cooling Water
n$n压力 Pressure
n$n2.0~4.0 kg/cm2
n
n$n流量 Min. Flow
n$n3L/min 15℃
n
n$n温度 Temp.
n$n7L/min 30℃
n
n$n接头 Connection
n$nRC3/8"
n
n$n氮气 N2
n$n压力 Pressure
n$n0.15~0.2 Mpa
n
n$n稀释流量 Dilute Flow
n$n0~60 L/min
n
n$n密封流量 Sealing Flow
n$n0~20 L/min
n
n$n接头 Connection
n$nSwagelok 1/4"
n
n$n尺寸 Dimension
n$n长x宽x高
n$n920x430x957 mm
n
n$n重量 Weight
n$n540 Kg
n
n$n噪音 Noise
n$n<70 dB(A)
n
n$n控制介面 Control
n$nSEMI E73-0299
n
n$n系统漏率 System Max. Leak-rate
n$n1.0/10-5 mbar.l/s
n
n$n室温操作范围 Operation Temp.
n$n5℃~40℃
n
n$n操作湿度 Operation Moisture
n$n90%以下
n
n$n
n
n$n性能曲线图:
n$n
n
n
n安装尺寸图:
$n
n性能参数:
n
n
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n$n抽气速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz)
n
n8300/10000 l/min
n
n$n500/600 m3/h
n
n$n294/353 CFM
n
n$n极限压力(Ultimate Pressure)
n$n≤7.5x10-4 Torr
n
n$n≤1.0x10-3 mbar
n
n$n≤1.0 Pa
n
n$n水冷密封马达(Canned Motor)
n$n频率 Frequency
n$n50/60 Hz
n
n$n电压Voltage
n$n220~440 V
n
n$n额定功率Rated Power
n$n4.0+4.0/2.98+2.98 HP/Kw
n
n$n连接口(Connection)
n$n进气口 Inlet
n$nISO100(bolted)
n
n$n排气口 Outlet
n$nNW40
n
n$n水 Cooling Water
n$n压力 Pressure
n$n2.0~4.0 kg/cm2
n
n$n流量 Min. Flow
n$n3L/min 15℃
n
n$n温度 Temp.
n$n7L/min 30℃
n
n$n接头 Connection
n$nRC3/8"
n
n$n氮气 N2
n$n压力 Pressure
n$n0.15~0.2 Mpa
n
n$n稀释流量 Dilute Flow
n$n0~60 L/min
n
n$n密封流量 Sealing Flow
n$n0~20 L/min
n
n$n接头 Connection
n$nSwagelok 1/4"
n
n$n尺寸 Dimension
n$n长x宽x高
n$n814x380x915 mm
n
n$n重量 Weight
n$n450 Kg
n
n$n噪音 Noise
n$n<70 dB(A)
n
n$n控制介面 Control
n$nSEMI E73-0299
n
n$n系统漏率 System Max. Leak-rate
n$n1.0/10-5 mbar.l/s
n
n$n室温操作范围 Operation Temp.
n$n5℃~40℃
n
n$n操作湿度 Operation Moisture
n$n90%以下
n
n$n
n
n$n性能曲线图:
n$n
n
n
n安装尺寸图:
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