日本进口Kosaka台阶仪ET150粗糙度轮廓仪_详细资料

产品信息

ET150配备了各种型号探针，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色 CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。

Kosaka ET150台阶仪

株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立，也是日本家发表光学杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商，主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为Z具代表性单位且在日本精密测定也占有一席无法被取代的地位。

KOSAKA ET150基于 Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数

    ET150配备了各种型号探针，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色 CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。

产品特点：
二次元表面解析，可测量段差
高精度、高分辨率和良好的再现性
FPD面板显示，可测定微细表面形状、段差、粗度等
低测定力，可测定软质材料

主要应用－－-膜厚测量

前制程机台（如曝光机、溅镀机、蚀刻机）best recipe 找寻。例如：PVD、CVD、DLC真空溅镀薄膜台阶、应力测试及软质光阻材料等薄膜台阶测量。

技术参数：

型号

ET150

样品尺寸

φ160x48mm

样品台

尺寸

φ160

倾斜度

±2°（X,Y手动）

承重

2Kg

检出器

触针力

10μN-500μN（1mg-50mg）

范围

600μm（0.1nm分辨率）

驱动

直动式（差动变压器）

触针

R2μm  顶角60°

X轴

测长

100mm

直线度

0.02μm/100mm

速度

0.005-20mm/s

重复性

±5μm（定位）

Y轴

测长

25mm/手动

Z轴

测长

50mm

放大倍数

垂直

50-2000000

水平

1-10000

监控系统

摄像装置

1/3 inch CCD

监视装置

视频捕捉板

移动方法

手动

辅助功能

教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等

应用

成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度

重复性

1σ1nm

电源

AC90-240V  50/60Hz 300VA

外观尺寸

W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震台）

您可能感兴趣的产品

日本进口Kosaka台阶仪ET150粗糙度轮廓仪

产品信息

联系我们

关注我们

型号		ET150
样品尺寸		φ160x48mm
样品台	尺寸	φ160
	倾斜度	±2°（X,Y手动）
	承重	2Kg
检出器	触针力	10μN-500μN（1mg-50mg）
	范围	600μm（0.1nm分辨率）
	驱动	直动式（差动变压器）
	触针	R2μm 顶角60°
X轴	测长	100mm
	直线度	0.02μm/100mm
	速度	0.005-20mm/s
	重复性	±5μm（定位）
Y轴	测长	25mm/手动
Z轴	测长	50mm
放大倍数	垂直	50-2000000
放大倍数	水平	1-10000
监控系统	摄像装置	1/3 inch CCD
	监视装置	视频捕捉板
	移动方法	手动
辅助功能		教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等
应用		成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度
重复性		1σ1nm
电源		AC90-240V 50/60Hz 300VA
外观尺寸		W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震台）