显微分光光度计
基本功能
1,针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数
2,实现薄膜均匀性检测
产品特点
l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库;
l 简便、易行的可视化测试界面,可根据用户需求设置不同的参数;
l 实现微小区域薄膜分析研究;
l 快捷、准确、稳定的参数测试;
l 支持多功能配件集成以及定制;
l 支持不同水平的用户控制模式;
l 支持多功能模拟计算等等。
系统配置
型号:MSP100RTM
探测器:2048像素的CCD阵列
光源:高功率的深紫外-可见光光源
光传送方式:光纤
自动的台架平台:特殊处理的铝合金操作平台,能够在5”×3”的距离上移动,并且有着1μm的分辨率,程序有效控制
物镜:4×,10×,15×(DUV),50×
通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
测量类型:反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数
计算机硬件:英特儿酷睿2双核处理器,19”LCD显示器
电源:110–240V AC/50-60Hz,3A
尺寸:16’x16’x18’ (操作桌面设置)
重量:120磅总重
保修:一年的整机及零备件保修
规格
波长范围:250nm到1000 nm
波长分辨率: 1nm
光斑尺寸:100µm (4x), 40µm (10x), 30µm (15x), 8µm (50x)
基片尺寸:Z多可至20mm厚
测量厚度范围: 20Å 到25 µm
测量时间:Z快2毫秒
精确度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
重复性误差*:小于2 Ǻ
可选配件项
l 波长可扩展到远深紫外光或者近红外光范围
l 可根据客户的特殊需求来定制
l 在动态实验研究时,可根据需要对平台进行加热或致冷
l 可选择的平台尺寸Z多可测量300mm大小尺寸的样品
l 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm
l 各种滤光片可供各种特殊的需求
l 可添加应用于荧光测量的附件
l 可添加用于拉曼应用的附件
l 可添加用于偏光应用的附件
应用领域
主要应用于透光薄膜分析类领域:
l 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)
l 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)
l 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)
l 医学,生物薄膜及材料领域等
l 油墨,矿物学,颜料,调色剂等
l 医药,中间设备
l 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
l 半导体化合物
l 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
l 非晶体,纳米材料和结晶硅
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