HMDS烘箱,台湾hmds烤箱通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
HMDS烘箱,台湾hmds烤箱的主要作用:HMDS烘箱,台湾hmds烤箱通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
HMDS烘箱,台湾hmds烤箱規格說明:
內尺寸:41×41×41 Cm W×D×H
外尺寸:1192×715×982 m/m W×D×H
電力:AC220V 1PH 50HZ 6KVA
材質:內部 SUS316#電解處理,外部 SS41#靜電塗裝粉體烤漆
HMDS烘箱,台湾hmds烤箱HMDS预处理的必要性:
在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。
由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰,再者,由于该系统是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先经过100℃-160℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出,而接触到大气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有着更好的处理效果。
HMDS烘箱,台湾hmds烤箱性能:
溫度:Max.200℃
真空度於:1Torr 以下,N2 經加熱後才進入箱內
HMDS 依程序控制自動導入
溫度控制精度:±0.3% F.S.
溫度解析度:0.1℃
壓力控制精度: ±0.3% F.S
壓力解析度:1TORR
HMDS烘箱,台湾hmds烤箱设备安装条件:
环境温、湿度5℃~+35℃,相对湿度:≤85%;
周围无强烈震动;
无阳光直接照射或其它热源直接辐射;
周围无强烈电磁场影响;
周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质;
百级洁净车间;
周围无强烈气流,当周围空气需要强制流动时,气流不应在直接吹到箱体上;
设备应放在坚固平稳的平面上,并使其保持水平状态;
安装设备使用空开电源 ;
HMDS烘箱,台湾hmds烤箱由上海隽思实验仪器有限公司提供及生产。