-基于长期大量的现场专业应用经验开发而成OX400低浓度氧化锆氧分析仪精度高,可考性高,测量量程范围大,可测量从0-10PPM至0-100VOI%的氧气浓度。OX400是长期大量的现场专业应用经验积累和业绩基础研发的新机型。氧化锆传感器采用了新型薄膜沉积,在氧化锆元素和铂层间建立了分子键连接。这样不仅预防剥离,还可以减小传感器尺寸,确保快速响应和超长寿命。OX400□-□P-□-□M/P带内置泵的盘装型OX400□-□P-□-□M带内置泵的桌面型OX400可用于控制和监视各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。用于半导体扩散炉和烘干炉,以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制,用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量,测量氧气浓度,防止粉尘运输中粉尘爆炸。主要技术参数:
测量对象 | 惰性气体中的氧气浓度 (易燃性气体、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外) |
测量系统 | 氧化锆系统 |
采样方法 | 泵式、抽提式等 |
样气条件 | 流速:200±25ml/min(仅适用于传感器) 温度:0~50℃(无结露) 湿度:无结露 压力:0~300PaG Z大容许压力:30kPaG |
测量量程 | 0~10ppmO2至0~100vol%O2 |
输出量程 | 自动: | 0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,0~(默认) |
固定: | 设为0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,或0~ |
部分: | 可设置下限值或上限值 |
模拟输出 | 2路输出,一路:4~20mADC(Z大负载电阻550Ω),第二路:可选为0~1,0~5,0~10VDC(负载电阻:10kΩ或更大) |
接点输出 | 报警输出2点: | 错误接点,O2浓度报警接点 |
指定量程范围输出1点: | 接点输出 |
多选择器(选配件): | 流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出 |
接点输入 | 1点:采样气体吸入泵的远程ON/OFF |
自诊断 | 故障: | 传感器错误,加热器温度错误,温度传感器断开,设备温度错误,CPU错误,FAN停止 |
报警: | 加热器不稳定,传感器错误,电动势异常,非对称电压错误错误,标定错误,传感器电阻错误,O2浓度上/下限,超限 |
串口通信 | RS-232,38400bps |
标定方法 | (1)3点:10ppm,1000ppm,空气,(2)2点:可设定为零点气和量程气标定,(3)1点,(4)空气标定 |
暖机时间 | 20分以内 |
电源 | 100~120VAC/220~240VAC,50/60Hz |
功耗 | 100~120VAC,200VAZ大,220~240VAC,400VAZ大 |
尺寸 | 213(W)x132(H)x约375(D)mm |
质量 | 约5kg |
管线连接 | 气体入口:Rc1/4或1/4NPT内螺纹 气体出口:Rc1/4或1/4NPT内螺纹 |
环境条件 | 安装条件: | 室内,盘装或壁装,非易燃区域 |
环境温度: | 0~40℃,无结露 |
环境湿度: | 5~85%RH |
储存温度: | -5~50℃ |
重复性 | ±1%F.S.(10,100,1000ppm,1%,10%或) |
线性 | ±2%F.S. ±3%F.S.(0~100ppm或更低) |
响应时间 | 90%响应 10秒内(0~1%或更高) 30秒内(小于0~1%) |
漂移 | ±2%F.S./周 |