是否提供加工定制 | 是 | 品Pai | 丹东新东方晶体 |
型号 | DX-7C | 测量范围 | - |
测量精度 | ±30″ | 分辨率 | - |
电源电压 | - | 用途 | - |
说明 该仪器专门用于硅单晶锭的定向,是和多线切割机配套使用的半导体行业专用设备。台上有一对滚杠,用于3~8英寸晶锭测定。晶锭放在滚杠上,其端面在X射线照射下定向。 晶锭尾端与编码器偶合,细分步到0.001°,用于测定晶锭旋转角度。可进行四方位(0°,90°,180°,270°)和二方位(0°,90°)测量。该仪器有一套微机控制装置,具有输入键盘、屏幕和打印机等。选择屏幕菜单,键入晶锭编号、所需数据、产品要求的切割偏角等,经计算、显示、并打印出晶锭在料板(工件板)上粘结所必须的自身旋转角β及摆角α等值。
项目 | 参数 |
晶锭直径 | 2-8英寸 |
晶锭Z大长度 | 500 |
测定晶面 | 111,100 |
定向精度 | ±30″ |
Z小读数 | 1″ |
晶锭转角(β) | ±90° ±0.1° |
http://www.dfx-ray.com