1.由于将X轴、Z轴加以数字化,所以不必完全仰赖于测定倍率的大小,即可做到大范围的高分解能测定。2.与计算机连接并加上计算机解析软件「Formpak-1000」,即可做出各式各样的测定与分析。3.若不连接计算机,亦可连接XY绘图机,并可在绘图机专用的数据处理机上先行确认图形或量测方式是否正确
产品信息
1.由于将X轴、Z轴加以数字化,所以不必完全仰赖于测定倍率的大小,即可做到大范围的高分解能测定。
2.与计算机连接并加上计算机解析软件「Formpak-1000」,即可做出各式各样的测定与分析。
3.若不连接计算机,亦可连接XY绘图机,并可在绘图机专用的数据处理机上先行确认图形或量测方式是否正确。
产品参数
测量范围 | 50mm(CV-1000)或100mm(CV-2000) |
分辨率 | 0.2μm |
测量方法 | 反射型光栅尺 |
驱动速度 | 0.2mm/s\\\\\\\\1mm/a和手动 |
测量速度 | 0.02-5mm/s |
测量方向 | /向后 |
直线度 | 3.5μm /50mm 1.5μm/mm(当X轴在水平方向上 |
指示精度 (20℃) | ±(3.5+2L/100)μm L为驱动长度(mm) |
倾斜范围 | ±45°(CV-2000) |
Z1轴 | 测量范围 | 25mm(CV-100)或40mm(CV-2000) |
分辨率 | 0.4μm(CV-1000系列) 0.5μm(CV-2000系列) |
测量方法 | 弧形编码器 |
指示精度 (20℃) | ±(3.5+14H/25)μm) H为水平位置上的测量高度(mm) |
探针上下运作 | 弧形运动 |
探针方向 | 向下 |
测力 | 10-30mN |
跟踪角度 | 向上 | 77° |
向下 | 87° |
探针针尖 | 半径 | 25μm |
材料 | 硬质合金针尖 |
基座尺寸(WxH) | 750x600mm(CV-2000) |
基座材料 | 花岗岩(CV-2000) |
重量 | 主机 | 5kg(CV-10000N2)、115.8kg(CV-2000M4)、124kg(CV-2000S4) |
控制装置 | 14kg |
遥控箱 | 0.9kg |
电源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz |
能耗 | 150W主机 |