产品亮点：■ 承载能力大■ 紧凑的差分并联结构设计■ 亚毫秒的响应■ 支持直径100mm的镜片
| 运动自由度 | 产品型号 | 传感器类型 | 偏转角度 | 分辨率 | 谐振频率[0g] | 外形尺寸 |
|
θx |
PT1M14 -500S-S |
Strain Gage |
|
0.3 μrad |
3000 Hz |
33×14×24 mm |
|
θx |
PT1M14 -500S |
- |
|
0.1 μrad |
3000 Hz |
33×14×24 mm |
|
θxθy |
PT2M25 -500S-S |
Strain Gage |
|
0.2 μrad |
3700 Hz |
Φ25×38 mm |
|
θxθy |
PT2M25 -500S |
- |
|
0.1 μrad |
3700 Hz |
Φ25×38 mm |
|
θxθy |
PT2M25 -1000S-S |
Strain Gage |
|
0.4 μrad |
3300 Hz |
Φ25×56 mm |
|
θxθy |
PT2M25 -1000S |
- |
|
0.2 μrad |
3300 Hz |
Φ25×56 mm |
|
θxθy |
PT2M25 -2000S-S |
Strain Gage |
|
0.6 μrad |
3100 Hz |
Φ25×92 mm |
|
θxθy |
PT2M25 -2000S |
- |
|
0.3 μrad |
3100 Hz |
Φ25×92 mm |
|
θxθy |
PT2M60-240S-S |
Strain Gage |
|
0.2 μrad |
2000 Hz |
Φ59×38 mm |
|
θxθy |
PT2M60-240S |
- |
|
0.1 μrad |
2000 Hz |
Φ59×38 mm |
|
θxθy |
PT2M60-500S-S |
Strain Gage |
|
0.2 μrad |
1400 Hz |
Φ59×56 mm |
|
θxθy |
PT2M60-500S-S |
- |
|
0.3 μrad |
1400 Hz |
Φ59×56 mm |
|
θxθy |
PT2M60-1000S-S |
Strain Gage |
|
0.4 μrad |
1000 Hz |
Φ59×92 mm |
|
θxθy |
PT2M60-1000S-S |
- |
|
0.3 μrad |
1000 Hz |
Φ59×92 mm |
|
θxθy |
PT2M90-4000S-S |
Strain Gage |
|
2 μrad |
500 Hz |
Φ90×63 mm |
|
θxθy |
PT2M90-4000S |
- |
|
2 μrad |
500 Hz |
Φ90×63 mm |
|
θx、θy、Z |
PT3V25-1000S-S |
Strain Gage |
（Z）40μm |
0.4 μrad、（Z）2.5nm |
2000 Hz |
Φ25×56 mm |
|
θx、θy、Z |
PT3V25-1000S |
- |
（Z）40μm |
0.2 μrad、（Z）1.5nm |
2000 Hz |
Φ25×56 mm |
注：定制压电偏摆镜产品需求，欢迎与我们联系沟通其定制方案。
■ 技术数据| 产品型号 | PT2M60-240S / -S | PT2M60-500S / -S | PT2M60-1000S / -S | 公差 | |
| 运动自由度 | θx、θy | θx、θy | θx、θy | - | |
| 传感器类型 | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - | |
| 标称行程范围（@0~+120V） | 240秒 ≈ 1.2mrad/轴 | 500秒 ≈ 2.5 mrad/轴 | 1000秒 ≈ 5 mrad/轴 | ±20% | |
| 行程范围（@-20~+150V） | 300秒 ≈ 1.5 mrad/轴 | 600秒 ≈ 3 mrad/轴 | 1200秒 ≈ 6 mrad/轴 | ±20% | |
| 分辨率 | 0.1 / 0.2 μrad | 0.2 / 0.4 μrad | 0.3 / 0.5 μrad | typ. | |
| 重复定位精度 | - / 0.05% F.S. | - / 0.1% F.S. | - / 0.15% F.S. | typ. | |
| 线性度 | - / 0.15% F.S. | - / 0.2% F.S. | - / 0.25% F.S. | typ. | |
| 承载能力（推荐） | Φ60×8mm光学镜片 | Φ60×8mm光学镜片 | Φ60×8mm光学镜片 | typ. | |
| 谐振频率 | 0g | 1700 Hz | 1400 Hz | 1100 Hz | ±20% |
| 静电容量 | 3.4 μF/轴 | 6.8 μF/轴 | 13.6 μF/轴 | ±20% | |
| 工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
| 驱动电压范围（推荐）1 | 0~+120 V@固定电压 | 0~+120 V@固定电压 | 0~+120 V@固定电压 | typ. | |
| 线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | |
| 外形尺寸(DxL) | Φ59×38 mm | Φ59×56 mm | Φ59×92 mm | - | |
| 重量 | 250 g | 400 g | 800 g | ±5% | |
| 本体材质2 | 铝（B） | 铝（B） | 铝（B） | - | |
说明：
1.驱动电压可在-20V~+150V使用；长期使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。
2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。
上海纳动纳米位移技术有限公司（简称“纳动纳米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河泾新兴技术开发区，是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的高新技术企业，专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发，并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等高端设备提供系统的技术解决方案，满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。 上海纳动纳米位移技术有限公司本着“创新引领，立足高端，精益打造纳米定位与运动控制ZG制造的国际品Pai“的目标，力求填补国内技术空白，打破国外对ZG的技术壁垒和国外产品垄断ZG市场的局面，为ZG智能装备产业和科研领域提供运动和测控解决方案提供关键技术和打造坚实基础。 上海纳动纳米位移技术有限公司在纳米定位及运动控制技术方面拥有近十余年的产品研发技术经验团队组成，并具有完全的自主知识产权。产品涵盖叠堆压电陶瓷、机械封装型压电促动器、压电纳米定位台、压电纳米扫描台、压电平移台、压电偏摆台、压电Tip/Tilt平台、压电光束偏转镜、压电旋转台、压电升降台、压电显微镜样品扫描台、压电物镜聚焦定位器、压电陶瓷驱动/控制器、机床微进给压电平台、多自由度并联机构、压电微调千分尺、高精度微位移测量系统等系列产品。 上海纳动纳米位移技术有限公司研发生产的产品广泛适用于光学、光电子、生物设备、精密加工制造、航空技术、图像处理、显微镜、半导体、自动对焦装置等，并服务于国内各高校、研究所及高端科研等领域从事前沿科学研究，产品得到用户的一致好评。我们基于现代科学技术发展和使用可靠的制造技术，使我们能够创造独特的产品，以满足客户的需求。同时，公司的灵活的管理结构使用户以Z少的成本实现的产品性能，而产品的定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，主要技术指标已达到国际先进水平，在国内处于领先地位。纳动正在为ZG的智能装备制造业、工业化、国防、航天、YL等科技的发展做出自己的贡献。
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