1.测量精度≦±5% 2.测量原理:触针法,电感侧头,半径2μm,5μm可选3.测量速度:0.05/S 4.测量范围:100μm(150μm)可选5.测量力:约0.7mN 6.轮廓分辨率:12nm7.取样长度可手动设置,也可自动识别取样长度8.内置打印机,可以直接打印测量结果和轮廓曲线
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