主要特征:桥架固定,工作台移动的固定桥式结构,为整机提供了更稳定可靠的精度基础,并确保高速运行时,振动对精度的影响Z小陶瓷Z轴、全花岗岩结构,为计量室环境下的测量提供了稳定的高精度ZX驱动系统减少偏摆和扭转,Y向光栅安装于工作台的ZY,阿贝误差小Y向采用燕尾导轨结构,提高了机器的精度和重复性柔性同步带系统,兼顾柔性啮合与刚性轴向传动的优点,确保高加速度时定位精确,从而提高运动的平稳性Z向采用可调式气动平衡设计,提高了机器的动态性能,提升Z轴安全性标配温度传感器,自动补偿由于温度变化而引起的误差采用HEIDENHAIN高分辨率金质光栅,其热膨胀系数获得PTB认证
规格型号与技术指标:
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