特征 ★ 线性热变形设计 ★ 三轴滚动导轨与花岗石气浮导轨的选择 ★ 隔震底箱设计 技术 ★ 测头各种测量姿态保证测端球心对中 ★ 实现手动测量路径教学与测控自学习避障的矢量控制配置 技术规格 型号 X(mm) Y(mm) Z(mm) 1 1 1 2 1-0.8-0.5 1000 800 500 1.5-1-0.5 2-1.5-1 2000 1500 1000 2.5-2-1 2500 2000 1000 精度等级:A、B、C三级 精度等级 单轴精度(um) 空间精度(um) R 1 1 自 到 A 2+2L/1000 3+3.5L/1000 5 B 3+4L/1000 5+6L/1000 8 C 5+6L/1000 10+10L/1000 10