特 点 *精度高。本仪器的测量基准是比被检传感器高出约1个量级的光电传感器,其核心测量元件是本公司特有的纳米光栅。这种纳米光栅 是在特制的光栅刻划机上,使用特殊技术,依靠光波波长平均定位刻制而成。实质上,这种纳米光栅就是一种刻录、固化到玻璃表面 上的光波波长。它不受空气折射率、大气压力、湿度等因素的影响,受环境温度的影响大为降低,可以获得十分稳定的读数。在100 毫米长度上Z大位置误差可小于±20纳米。 *本仪器在总体结构上严格符合Abbe原理,被测传感器与基准传感器严格处在同一轴线上,确保了很高的测量精度。
*效率高。无论100个、 1000个或10000个测点,都在一次扫描中完成自动测量、自动记录,总共需时20秒钟左右,所以效率很高。并 且大大减少了环境温度变化和震动的影响。 *测点密。在10毫米量程范围内一次扫描测量可以迅速得到100-1000个测点,即每隔0.1毫米或0.01毫米得到一个测点。如果需要,可 将测点进一步局部加密,对某些可疑之处或误差突变之处实行加密扫描测量,例如可以每隔10微米、1微米、0.1微米甚至0.001微米 测量一个点,获得极其细微的误差分布曲线。 *动静两用。本仪器既可动态测量,又可静态测量。对于检测百分表、千分表、光学计、乌式干涉仪、机械比较仪等人工读数的检具可 以使用静态测量(手动测量);对于各种传感器可以实行动态测量(自动测量)。 *智能功能。本仪器内置单片微机,具有多种智能功能,如自动求Z大值、Z小值、峰峰值、任意清零、公/英制转换,并且具有计算 机接口,可以与计算机通讯,实现数据自动处理、自动打印、自动绘制误差曲线等。 |