PSM-1000探针台显微镜产品简介:
清新的一体化打算,占领精良的光学成像质地,容易操纵的正像光学体系,是企望的检测半导体器件的对象,支持3种激光波长,可在半导体和PSM-1000探针台显微镜液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。可能广大应用于半导体、电子、冶金等行业的建造和思考鸿沟。
●人机工程头部
PSM-1000E双目观察头可以在3°-30°转变,转圜观察眼点的高度和观察对象,使操纵者的使用非凡舒适。
●管镜
PSM-1000的管镜转盘上装有1XNUV、1XNIR和2X管镜,三组管镜之间可以根据须要进行切换,切换简单、方便。此中1XNUV对355nm和532nm波出息行了优化,1XNIR对532nm和1064nm波长实行优化,当使用这3个波长的激光器时,可以获得更好的激光透过率。
●光路切换拉杆
通过推拉光路变更拉杆可以方便的对光路进行切换。当转换拉杆往外拉时,双目头和摄像接口的分光比为0:100,此时从摄像接口上入射的激光的进来光路,进步了激光恶果;当转换器拉杆往里推时,双目头和摄像接口的分光比为50:50,此时即可用双目头观察,同时能够在摄像接口上使用CCD摄像头或激光器。
●偏光观察
主体上留有偏光插孔,插上偏光附件(选配件),可进行偏光观察。
●调焦机构
PSM-1000的调焦机构转动舒适,处事可信。调焦机构可承载45磅(20.4Kg),保证安装激光器和CCD摄像头后,仍旧可以寻常工作。
●转换器
PSM-1000采用4孔可调中转换器,使用随机配送的调中钥匙,可以很方便地调整物镜的齐中。
●物镜
PSM-1000采用短工作隔绝的无应力平场复消色差物镜,供给了优异的成像质量。关于物镜的的确参数请参照APO物镜样板。
●数码摄像系统
根据所使用的CCD摄像机的CCD尺寸,选择符合的摄像磋商,安装在摄像接口上,构成数码摄像系统,就可以在电脑、电视或监督器上同步观察。
●照明系统
采用同轴笔直照明系统,光源采用外置寒光源。长达2m的照明光纤和光源遥控器(选配件)给PSM-1000带来更自由的操作空间。
●探测工作站
PSM-1000的主体私人可以安装在探测工作站上,进行硅片的考试。
●激光装置
PSM-1000的摄像接口处装有激光泰安定位销,双目头先留有安装激光安全滤色片的地位,并PSM-1000探针台显微镜提供抵偿垫片。无需专用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全滤色片安装上。
注:在安装和使用激光器以前,请您细致浏览激光器和激光安全滤色片的使用手册。因为在PSM-1000上使用激光器和激光安全滤色片而表现的安全和性能题目,麦克奥迪实业集体有限公司对此概不负担。
PSM-1000探针台显微镜规格凝视:
PSM-1000紧要技术参数:
搭钮式三目头图像正像
瞳距调剂鸿沟55-75mm
视场直径24mm
分光比可通过光路切换拉杆自由切换(双目头:第三目=100:0或50:50)
主体管镜1X(可对紫外及PSM-1000探针台显微镜红外线进行优化),2X
激光的使用拉出光路切换拉杆即可
可应用的激光1064/532/355nmNWRlaser
调焦机构粗微调手轮调焦行程:50mm;粗出手轮4mm/转;微动手轮0.1mm/转
调焦机构承重量20.5kg
摄像接头C-Mount接头
照明系统同轴垂直照明,可变孔径光栏
冷光源(选配)150W冷光源照冥具及产业显微镜光纤(2m)
物镜转换器四孔物镜转换器,焦点可调,可摧毁
物镜(选配)长工作距离平复消色差物镜2X,5X,10X,20X,50X
超长工作距离复消色差物镜50X,100X
可调焦长工作距离复消色差物镜2X,5X,10X,20X,50X
可调焦超工作距离复消色差物镜50X,100X
NIR超长工作距离复消色差物镜20X,50X
重量主体:6.8kg;冷光源照明器:2.5kg