日本KOSAKA台阶仪 ET4000探针式轮廓仪_详细资料

产品信息

ET4000具有高精确性、稳定性和重复性，可测量FPD、晶片、磁盘，和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度等。坚固的花岗岩材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度，并降低了地板噪音对测量的干扰。ET4000为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置，通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。

   Kosaka ET4000探针式轮廓仪


    ET4000具有高精确性、稳定性和重复性，可测量FPD、晶片、磁盘，和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度等。坚固的花岗岩材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度，并降低了地板噪音对测量的干扰。ET4000为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置，通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。

主要特点：
1. 具有的台阶高度重复性5Å (1σ)和线性度（垂直线性度：200nm以上为±0.25%；200nm以下为0.5nm）；
2. 高分辨率，纵轴分辨率为0.1nm，横轴为0.01μm，可精确测量纳米级至几百微米级台阶高度；
3. 超高直线度： 0.005μm/5mm，可测定微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等；
4. 低测定力：采用直动力LVDT检出器，触针力在0.5μN～500μN范围可以任意调节，可测定软质材料；

5. 即时监控系统：配置标准CCD，可即时监控量测位置；还可选购Top View CCD，进行高精度定位量测；

6. 可扩充成三次元设备和追加三次元解析软件，观察样品全貌和测定台阶移动量；

7. 采用天然金刚石(R2μm)作为探头，经久耐用；

产品参数：

型号

ET4000M

ET4000A

ET4000L

样品尺寸

300x300mm

210x210mm

300x400mm

样品台

尺寸

320x320mm

220x220mm

540x400mm

X轴倾斜度

±1mm/150mm(机动倾斜）

Y轴倾斜度

——

±1mm/150mm(机动倾斜）

承重

2Kg

检出器

力

0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可调节

范围

100μm

驱动

LVDT直动式（差动变压器）

触针

ET-1479(R2μm)

ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm)

X轴

测长

100mm

直线度

0.005μm/5mm(0.1μm/100mm)

速度

0.005-2mm/s(定位速度10mm/s）

重复性

±5μm（定位）

Y轴

测长

——

150mm

400mm

直线度

——

5μm/150mm

重复性

——

±5μm（定位）

Z轴

测长

52mm

放大倍数

垂直

50-2000000

水平

1-10000

3D

——

可选择

θ轴

——

可选择

辅助功能

教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等

监控系统

摄像装置

1/2 inch CCD (768x494像素）

监视装置

视频捕捉板

应用

成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度

重复性

1σ0.5nm

电源

AC100V 800VA

外观尺寸

W660xD580xH660mm 200Kg

W930xD930xH790mm 380Kg

应用：
    全自动接触式轮廓仪ET4000系列可适用于薄膜、 FPD、晶片、磁盘和与纳米材料相关物件，测量微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等，可广泛应用于半导体、微量流控、精细加工和存储器等行业。

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型号		ET4000M	ET4000A	ET4000L
样品尺寸		300x300mm	210x210mm	300x400mm
样品台	尺寸	320x320mm	220x220mm	540x400mm
	X轴倾斜度	±1mm/150mm(机动倾斜）
	Y轴倾斜度	——	±1mm/150mm(机动倾斜）
	承重	2Kg
检出器	力	0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可调节
	范围	100μm
	驱动	LVDT直动式（差动变压器）
	触针	ET-1479(R2μm)	ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm)
X轴	测长	100mm
	直线度	0.005μm/5mm(0.1μm/100mm)
	速度	0.005-2mm/s(定位速度10mm/s）
	重复性	±5μm（定位）
Y轴	测长	——	150mm	400mm
	直线度	——	5μm/150mm
	重复性	——	±5μm（定位）
Z轴	测长	52mm
放大倍数	垂直	50-2000000
	水平	1-10000
3D		——	可选择
θ轴		——	可选择
辅助功能		教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等
监控系统	摄像装置	1/2 inch CCD (768x494像素）
	监视装置	视频捕捉板
应用		成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度
重复性		1σ0.5nm
电源		AC100V 800VA
外观尺寸		W660xD580xH660mm 200Kg		W930xD930xH790mm 380Kg