MFC-08在线配气系统,应用高精度质量流量计对气体流量进行控制,通过高性能气体混合罐实现气体均匀混合,通过软件可针对每一路气体的流量进行调节和控制,并可进行配气应用方案设计,实现不同时间段配气浓度的自动调节。具备配气精度高、应用灵活、智能化等多个特点
技术参数
1、质量流量计控制精度:±0.35%FS
2、混气装置:采用异形气体混合仓与气体扰流板技术
3、控制系统:全自动控制,并可对配气方案进行程序控制,实现流量、使用气体、使用时间的随意编程
4、气路系统:使用316L不锈钢管路及卡套式连接方式,使系统耐腐蚀、气密性好
5、气路控制系统:使用日本SMC电磁阀,并为每个气路设置单向阀,已防止气体逆行,所有电磁阀均由软件控制
6、配气方案:可根据求,实现对每组气体的流量进行编程调整,即流量的多段控制
7、应用气体:氨气、氮气、丙烷、乙炔、丙炔、二氧化硫、二氧化碳、二氧化氮、甲烷、氪气、氯化氢、氧气、氢气、一氧化氮、一氧化碳等
8、气体预热装置(可选)