品Pai: | MKS | 型号: | πMFC |
类型: | 质量流量计 | 测量范围: | 10 sccm – 50 slm。(m3/h) |
精度等级: | 1% | 公称通径: | 6.35(mm) |
适用介质: | H2,O2.N2 | 工作压力: | 0.4(MPa) |
工作温度: | 40(℃) | | |
ALTA®系列金属密封数字质量流量控制器ALTA® 1480A/180A数字质量流量控制器/质量流量监视器,满量程范围从10 sccm– 30 slm。ALTA® MC20A数字质量流量控制器,满量程范围从20 – 300 slm。MASS-FLO®系列金属密封质量流量控制器1479A/179A质量流量控制器/质量流量监视器,其满量程范围从10 sccm – 20 slm,各种模拟和数字通讯口可选。M330B低压质量流量控制器,其满量程范围从5–100 sccmM330H高温型(150℃)质量流量控制器,其满量程范围从10sccm – 40 slmMASS-FLO®系列橡胶密封质量流量控制器1179A/2179A质量流量控制器/带截至阀质量流量控制器,其满量程范围从10 sccm – 20 slm,模拟和数字通讯口可选。M100B/M10MB质量流量控制器/质量流量监视器,其满量程范围从10 sccm–50 slm1559A/558A大流量质量流量控制器/质量流量监视器,其满量程范围从20– 200 slm1579A/579A大流量质量流量控制器/质量流量监视器,其满量程范围从50 – 300 slm全线代理美国美国MKS的系列产品:等离子体电源及反应气体发生器Power & Reactive Gas真空技术Vacuum Technology流量测量及控制Flow Measurement & Control压力测量及控制Pressure Measurement & Control气体分析Gas Analysis控制信息与技术Control Information & Technology超小型检漏仪Leak Detector校准系统Calibration电离化与工业静电控制Ionization & Industrial Static Control集成子系统Integrated Subsystems医用电子系统Medical Electronics生物医药应用Biopharmaceutical有采购需要,请和我们联系,欢迎洽谈!