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乌兰浩特市无尘净化车间_无菌净化车间装修 无尘室的空调有什么不同
无尘室的换气主要仰仗的便是空调的运行,那么无尘室空调与家用的空调有什么不同,无尘室空调的特性又是什么呢?
温湿度要求低于普通空调
一般空调要求在18°C~26°C之间,相对湿度则在40%~65%之间;无尘室空调必须控制在22°C~24 °C之间, 相对湿度则在45%~55%。
恒温恒湿控制
由于半导体制程对温湿度变化的大小极为敏感,故在无尘室大部分区域必须控制在±1C 及±3% 之内。
所需的外气较多
乌兰浩特市无尘净化车间_无菌净化车间装修由于半导体工厂中,制程系统需使用大量的化学品和毒气,这些化学品和毒气所产生的挥发气体和废气必须予以全数排除,故排气量相当大,为维持无尘室压力比外面的大气压力大,此时所补充的空气量亦随之增加。
空调系统24小时全天运转并监控管理
半导体工厂部分制程设备,对温湿度变化极为敏感,如黄光区Stepper光学机台,些微的温、湿度变化均会使设备的准度偏差,另外芯片等产品也必须置放在定温定湿的环境下,故空调系统必须24小时监控管理之。
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