型号
LEGE*574
LEGE*774
LEGE*776
LEGE*9106
LEGE*12128
测量范围
X轴
510mm(20″)
710mm(28″)
910mm(36″)
1210mm(48″)
Y轴
1010mm(40″)
Z轴
455mm(18″)
605mm(24″)
810mm(32″)
分辩率
0.00001mm
(.0000001″)
20℃时的精度ISO10360-2
MPEE=(0.45+L/1000)um/(0.35+L/1000)um
MPEP=0.6um/0.45um使用TP7M/MPP300Q
Z大驱动速度
300mm/s
Z大加速度
0.1G
Z大工作台负荷
200kg
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