真空技术的全球Edwards 推出了nEXT 涡轮分子泵。nEXT 汲取成熟、可靠的EXT 和STP 系列(超过200,000 台在实际运行)累积的十年经验,为科学涡轮泵树立了新的标杆。 nEXT 平台实现高度的模块化,为满足客户应用和需求提供了的灵活性。每台泵都提供两种不同的内部配置,以实现不同的性能: 此泵是
nEXT240D
nEXTt300D
nEXT400D
入口法兰
DN100ISO-K,DN100CF
DN160ISO-K,DN160CF
出口法兰
DN25NW
抽速
N2
240 ls-1
300 ls-1
400 ls-1
He
230 ls-1
340 ls-1
390 ls-1
H2
165 ls-1
280 ls-1
325 ls-1
压缩比
>1 × 1011
3 x 105
1 x 106
1 x 108
1 x 104
5 x 104
5 x 105
针对 RV 前级泵 ISO/CF 的极限压力
<6 x 10-8/<5 x 10-10mbar
<1 x 10-8/<1 x 10-10mbar
推荐前级泵*
RV12/nXDS10i
排气口
1/8 英寸 BSP 母头
吹扫口
连续入口流量(氮气)†
水冷却(15°C 的水,40°C 的环境温度)
45 sccm
95 sccm
105 sccm
强制空气冷却,35°C 环境温度
30 sccm
115 sccm
90 sccm
泵旋转速度
标称旋转速度
60000 rpm
待机旋转速度
可在 33000 至 60000 rpm 之间变化(默认为 42000 rpm)
可编程功率限制设置
可在 50 至 200W 之间变化(默认为 160W)
到 90% 速度的启动时间
115s‡
145s‡
180s‡
模拟输出
泵旋转速度; 功耗;泵温度;控制器温度
冷却方法#
强制空气/水
强制空气冷却的环境空气温度
5 - 35°C
Z小冷却水流速(15°C 的水)
15 l h-1
水温范围
10 - 20°C
入口法兰温度
75°C
80°C
70°C
操作姿态
垂直且竖直,直到 水平 +/- 2°
1 米处的噪音级别
<45 dB(A)
泵可以承受的磁场
5 mT
推荐控制器
TIC200 分子泵和仪器控制器
静止电功率
通常为 20W
通常为 20 W
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