美国MKS真空计，MKS 970系列冷阴极真空计

970系列971/972/974是一个家庭的结构紧凑，成本低，通用传感器，利用从一个到四个传感器-冷阴极，micropirani™，和压电技术。结合这些传感技术能够从大气测量范围宽10-8 Torr.  970 10-8乇。除了它的体积小，范围广泛，成本低，970系列971/972/974可以.通过数字通信或作为一个自主的模拟单元操作。

美国MKS真空计   MKS 970系列971/972/974冷阴极真空计优势：

•小巧的设计提供了一种紧凑传感器解决方案存储工具房地产

• Single transducer provides a wide measurement

•单传感器提供了一个广泛的测量大气10-8乇的范围(972B ａnd 974B models),（972b和974b模型），消除多个表的需要

• The MEMS based MicroPirani sensor

•基于MEMS的micropirani传感器 972B  974B 在972b和974b允许低的汽车 (user冷阴极的开启压力（用户

programmable from 2x10-4 to 1x10-3 Torr)

可编程从2x10-4到1×10 - 3毫米汞柱）提高可靠性

• The cold cathode anode module design is

•冷阴极阳极模块的设计用户可减少停机时间保存外部的修理费用

• All transducers include both analog and

•所有传感器包括模拟量和为便于数字通信operation操作

• MicroPirani is automatically zeroed

•micropirani自动调零泵送循环的过程中提高了 (972B ａnd 974B models)精度（972b和974b模型）

• Mountable in any orientation for ease

•安装在任何方向的易设计中的灵活使用

• Simplified interface via a single

•简化接口通过一个单一的平滑的模拟输出，结合单个传感器的测量

• Three user configurable relays for process

•三用户可配置的继电器的过程control控制

• Alternate analog output ａnd electrical

•交替的模拟输出电可另配连接器供应商的仪表和方便容易升级

• Can be used with the PDR900 controller

•可以用pdr900控制器for easy set up容易设置

• RoHS ａnd CE Compliant

•CE和ROHS标准

美国MKS真空计   MKS 970系列971/972/974冷阴极真空计应用：

970系列传感器是紧凑的，低成本的解决方案，用户对真空测量操作在大气压力范围10-8乇。该系列的小尺寸970个传感器，使他们的理想的系统集成商希望减少足迹使小型化。应用包括：

• Analytical equipment (mass spectrometer control)

•分析设备（质谱仪控制）

• Scanning electron microscopes

•扫描电子显微镜

• Coating systems

•涂层系统

• Semiconductor loadlock pressure control

•半导体的负载压力控制

• General vacuum base pressure measurement

•一般真空压力测量