美国MKS真空计 MKS 999系列多探头全量程真空计999 quattro系列的™是的传感器解决方案,结合热阴极技术。999系列提供了从10-10乇大气压力测量,结合大气交换能力,并结合的关键技术成一个完整的表的解决方案。它在一个紧凑的四个传感器的功能 quattro包括微型热阴极电离传感器,基于MEMS的micropirani™传感器和一个独特的压电传感器,提供差分和传感器功能。
美国MKS真空计 MKS 999系列多探头全量程真空计优势:
•单传感器提供了一个广阔的10-10 Torr to测量范围10-10乇高真空环境过程
• Accurate atmospheric pressure reading
•精确的大气压力读数独立的气体的类型和气压压力的变化
• Gas independent absolute measurement
•气体独立的测量从50乇大气(1%的读数高于50乇)
• 4-in-1 sensor eliminates complex
•四合一传感器消除了复杂的流形,布线和控制要求
• Both analog and digital operation and
•模拟和数字两种操作通信
• Piezo and MicroPirani sensors are
•压和micropirani传感器在操作过程中自动校准
• MicroPirani technology allows for hot
•micropirani技术允许热在较低的阴极灯丝控制改进灯丝生活压力
• Two yttria-coated iridium filaments,
•两钇涂层的铱丝,专为延长寿命
• Includes a patented degas function
•包括专利脱气功能
• Mountable in any orientation for easy
•安装在任何方向容易安装
• Single selectable analog output (0.5 or
•单可选择模拟输出(0.5或0.75 )
• 3 user-configurable set point relays
•3用户可配置的设置点继电器
• Microprocessor-based digital technology
•基于微处理器的数字技术实时数据访问
• RoHS and CE compliant
•CE和ROHS标准
美国MKS真空计 MKS 999系列多探头全量程真空计应用:
999 系列quattro的是理想的测量从大气到广泛的真空范围UHV, 特高压,与大气的交换能力。典型的应用包括半导体,薄膜涂层,分析仪器高能物理学。这些应用程序需要长期的稳定性和精度从多传感器的设计效益数字接口。紧凑的包系统集成商的理想.在这些市场上的设备制造商。客户需要一个电源和 PDR900显示可以使用999的pdr900.900系列控制器。