主要特征: u横梁与Z轴采用表面阳极化航空铝合金,温度一致性;并降低了运动部件的质量,减少测量机在高速运行时的惯性 u三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承,运动更平稳,导轨永不受磨损 u三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺,系统分辨率可达0.078um;同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光栅尺的变形 uY轴采用整体燕尾式导轨,在降低机器重量的同时,有效消除了运动扭摆,保证了测量精度和稳定性 u各运动轴均采用直流伺服驱动,确保运动的平稳和准确 uX向采用精密三角梁,相比矩形梁和横梁,ZX更低,质量刚性比,运动更加可靠 u软件为业界标杆的PC-DMISBASIC(/PC-DMISPREMIUM),功能强大,易学GX u采用海克斯康为Croma专业打造的IDC-Ⅰ控制系统,提高了机器的动态性能和测量精度 |