横河ZR22G/ZR402G分氧化锆高温湿度分析仪产品信息横河电机新推出的氧分析仪OX400,是公司在该技术的长期经验积累和业绩基础上研发出来的。氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积,在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离,还可以减小传感器尺寸,确保高速响应和长寿命。OX400可用于控制和监视各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。用于半导体扩散炉和烘干炉,以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制 用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量 测量氧气浓度,防止粉尘运输中粉尘爆炸特性#使用寿命长,响应速度快--由于使用了横河电机的新型薄膜沉积,传感器的寿命周期提高了三倍--圆柱形传感器设计便于置换被测气体,确保高速响应#高性能和高可靠性--即使在低氧浓度下,仍具有极高的精度和线性--在不同应用中,可选择泵式或抽提采样方式#内置功能和多种自诊断功能--自带多选择器,自动量程,特定量程以及泵开/关功能--提供多种自诊断功能,以检测故障,如加热器温度错误,温度传感器断偶和传感器电阻值错误#出众的维护性--可现场更换传感器--小型轻量,易于安装规格
测量对象 | 惰性气体中的氧气浓度 (易燃性气体、二氧化硅、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外) |
测量系统 | 氧化锆系统 |
采样方法 | 泵式,抽提式等 |
样气条件 | 流速: 200 ± 25ml/min(仅用于传感器) 温度: 0~50℃(无结露) 湿度: 无结露 压力: 0~300PaG Z大容许压力: 30kPaG |
测量量程 | 0-10ppm O2至0-100vol% O2 |
输出量程 | 自动: | 0-10ppm,0-100ppm,0-1000ppm,0-1%,0-10%,0-(默认)其他: 可设为0- 0ppm,0- 00ppm,0-000 ppm,0- %,0- 0%,0-,1~9的整数 | 固定: | 设为0-10ppm,0-100ppm,0-1000ppm,0-1%,0-10%,或0- | 部分: | 可设置下限值或上限值 |
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模拟输出 | 2路输出, 一次: 4~20mA DC(Z大负载电阻: 550Ω) 二次: 可选为0~1,0~5,0~10V DC(负载电阻: 10kΩ或更大) |
接点输出 | 报警输出2点: | 错误接点,O2浓度报警接点 | 指定量程范围输出1点: | 接点输出 | 多选择器(选配件): | 流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出 |
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接点输入 | 1点: 采样气体吸入泵的远程ON/OFF |
自诊断 | 错误(故障): | 传感器错误,加热器温度错误,温度传感器断开,设备温度错误,CPU错误,FAN停止 | 报警(警告): | 加热器不稳定,传感器错误,电动势异常,非对称电压错误错误,标定错误,传感器电阻错误,O2浓度上/下限,超限 |
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串口通信 | RS-232,38400 bps |
标定方法 | (1)3点: 10ppm,1000ppm,空气,(2)2点: 可设定为零点气和量程气标定,(3)1点,(4)空气标定 |
暖机时间 | 20分以内 |
电源 | 100 - 120V AC/220 - 240V AC,50/60Hz |
功耗 | 100~120V AC,200VA Z大,220~240V AC,400 VA Z大 |
尺寸 | 213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm |
质量 | 约5kg |
管线连接 | 气体入口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹 气体出口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹 |
环境条件 | 安装条件: | 室内,盘装或壁装,非易燃区域 | 环境温度: | 0~40℃,无结露 | 环境湿度: | 5~85%RH | 储存温度: | -5~50℃ |
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符合的安全标准 和EMC标准 | 安全标准: | 61010-1:2001 | EMC: | EN 61326-1 Class A,Table 2(用于工业现场) EN 61326-2-3,EN 61000-3-2,EN 61000-3-3 |
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特性 重复性 ±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或) 线性 ±2%F.S.±3%F.S.(0~100ppm或更低) 响应时间 90%响应10秒内(0~1%或更高)30秒内(小于0~1%) 漂移 ±2%F.S./周