美国Granville-Phillips真空计 GP 500系列冷阴极真空计结合高精度对流增强皮拉尼计电子提供了一个紧凑,方便,可靠,和真空测量从大气到10-4乇的节约成本的解决方案。
Granville-Phillips真空计 GP 500系列冷阴极真空计美国Granville-Phillips真空计 GP 500系列冷阴极真空计结合高精度对流增强皮拉尼计电子提供了一个紧凑,方便,可靠,和真空测量从大气到10-4乇的节约成本的解决方案。35年以上成功的现场安装,该对流测偏仪表已成为一种行业标准。它是一种独特的热导率变化表上的压力测量是基于从传感器导线的热损失率。不同于传统的热电偶和皮拉尼计,只使用导电的热损失,由于对流测偏仪表,利用在较高压力下的对流热损失。这延伸的准确范围,对大气的可重复的测量。对流测偏仪表在使用今天的真空处理成千上万的世界各地,使他们对许多真空应用一个明智的选择。模块可提供模拟输出,RS-485接口,和DeviceNet™接口。
美国Granville-Phillips真空计 GP 500系列冷阴极真空计优势:
l 从10-10到10-2乇•宽的压力测量范围
l 单独校准量规提供的精度
l 显示压力表状态
l RS-485通信接口与编程关闭状态,输出模拟信号开始点,和斜率
l USB接口可用于校验仪的现状和进行设置
l 量规的设计减少了关键元器件的寿命增加的污染
l 寿命指示器显示在表需要维修
l 易于拆卸,电子和磁组件使烘烤、安装方便
l 包括2个可编程设定继电器
美国Granville-Phillips真空计 GP 500系列冷阴极真空计
•测量范围宽:允许真空系统的性能进行连续监测,从1x10-10到1x10-2托。
• Long Lifetime: Cold Cathode Gauges do not require a filament, which simplifies gauge construction, increases reliability and lifetime, and lowers the cost of ownership. An internal guard ring reduces contamination on critical components and isolates leakage current from the measurement.
•寿命长:冷阴极规不需要灯丝,从而简化了规范建设,提高可靠性和寿命,并降低拥有成本。一个内部的保护环,减少污染和隔离关键元件的漏电流的测量。
• Quick Starting: The field emission starter provides faster and more predictable start times.
•快速启动:场发射起动机提供更快和更可预测的开始时间。
• Easy Access Magnet: Tool-free magnet removal simplifies gauge installation and bakeout.
•易于访问的磁铁:免工具永磁除简化了仪表安装和烘烤。
• High Accuracy: For applications requiring higher precision, an optional calibrated Series 500 CCG provides ±10% accuracy.
•高精度:精度要求较高的应用,一个可选的校准500系列提供10%的精度±CCG。
• Digital Display: Displays pressure, USB connectivity, RS-485 address, remaining lifetime, and self diagnostics status.
•数字显示:显示压力,USB连接,RS-485通讯,剩余寿命,和自诊断状态。
• Status LEDs: Indicate when power is applied to the module, when discharge is achieved, the state of the 2 setpoint relays, and if maintenance is suggested at the next PM or immediately.
•状态LED:指示当电源应用到模块,当流量达到设定值的2,继电器的状态,如果维修是建议在下一个点或立即。
• Auto On/Off: The gauge can be programmed to turn ON automatically based on an analog voltage input coming from a higher pressure (i.e. Pirani) gauge. The Series 500 CCG can also automatically turn the gauge OFF based on the analog input and/or the pressure reading from the CCG itself.
•自动开/关:表可以被编程为将基于一个模拟电压输入来自于一个更高的压力自动(即皮拉尼)计。500系列CCG还可以自动关闭测量仪的基础上,模拟输入和/或从CCG本身的压力读数。
• Easy Maintenance: Internal components are easily replaced for quick maintenance.
•维修方便:内部部件易于更换快速维修。
• Baffle: Keeps sputtered material from entering your process chamber.
•挡板:保持溅射材料进入您的处理室。
• Lifetime Indicator: To avoid guesswork, the Series 500 CCG displays the estimated remaining lifetime of the gauge – the point at which accuracy is compromised and gauge maintenance or replacement is recommended.
•寿命:避免猜测,500系列CCG显示估计的剩余寿命的计–点精度受到损害,仪表维修或更换的建议。
• USB Interface: The USB port provides connection to a PC together with an easy-to-use software program to setup, control, view diagnostics status, and display pressure trends. Communications over USB can occur while the gauge is ON without disrupting normal operation.
•USB接口:USB端口提供的连接到PC和一个易于使用的软件程序设置,控制,查看诊断状态,并显示压力的趋势。在USB通信,计是在不破坏正常操作发生。
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