Hicube 80分子泵组优点: 1. 涡轮分子泵和前级泵的结合;适合多种应用需求 2. 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求 3. 各部件配合简便,易于保养维修 4. 集成的驱动系统,无需额外的控制系统 5. “即插即用”-无需布线和安装 6. 结构坚固,服务寿命长,可靠性高 7. 意外断电时,前级真空安全阀(可选)可保护真空腔体免受返流影响
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